Máquina de recubrimiento por pulverización magnetrónica de tres objetivos para el recubrimiento de sustratos y obleas.
1. El sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes está equipado con tres cañones de blancos, y una fuente de alimentación de radiofrecuencia compatible se puede conectar a cualquier cabezal de blanco a través de un interruptor de conversión, que se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de diversos materiales de blanco (el cañón de blancos se puede reemplazar en cualquier momento según las necesidades del cliente).
2. El sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes puede preparar una variedad de películas delgadas y es ampliamente utilizado.
3. El sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes es de tamaño pequeño y muy fácil de operar.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción de un recubridor compacto por pulverización de plasma:
El sistema de preparación de baterías de película delgada VGB-600-3HD, con caja de guantes, permite realizar operaciones experimentales dentro de dicha caja y se utiliza para preparar películas delgadas ferroeléctricas, conductoras, de aleación, semiconductoras, cerámicas, dieléctricas, ópticas, de óxido, duras, de politetrafluoroetileno, etc., tanto de una como de varias capas. El recubridor compacto por pulverización catódica de plasma está equipado con tres cañones de plasma y una fuente de alimentación de radiofrecuencia compatible que se puede conectar a cualquier cabezal mediante un conmutador, lo que permite el recubrimiento por pulverización catódica de diversos materiales. En comparación con equipos similares, este recubridor compacto por pulverización catódica de plasma no solo es ampliamente utilizado, sino que también destaca por su tamaño reducido y facilidad de uso. Es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en laboratorio. Resulta especialmente adecuado para la investigación en laboratorio de baterías de película delgada, electrolitos sólidos y OLED. En comparación con la pulverización catódica magnetrónica convencional, permite realizar experimentos de recubrimiento en blancos de litio y otros materiales a base de litio. Es un equipo ideal para experimentos de recubrimiento en laboratorio en la industria de las nuevas energías.
Ventajas del recubridor por pulverización catódica con magnetrón de radiofrecuencia de tres objetivos:
1. Equipado con tres objetivos de pulverización, una fuente de alimentación de RF se puede cambiar a cualquier cabezal objetivo a través de un interruptor de transferencia, lo que permite la deposición por pulverización de varios materiales objetivo (los cañones objetivo se pueden intercambiar según los requisitos del usuario).
2. Capaz de preparar múltiples tipos de películas delgadas, con un amplio rango de aplicaciones.
3. Tamaño compacto y fácil manejo.
4. Todo el sistema adopta un diseño modular: la cámara de vacío, la unidad de bombeo de vacío y la fuente de alimentación de control están separadas de forma independiente, lo que permite una configuración flexible según los requisitos del usuario.
5. Los usuarios pueden elegir la configuración de la fuente de alimentación según sus necesidades reales: una sola fuente de alimentación que controle varios objetivos o varias fuentes de alimentación que controlen cada objetivo de forma independiente (opcional).
6. El sistema puede operarse dentro de una caja de guantes para la deposición utilizando diversos materiales objetivo sensibles a la oxidación.
Parámetros técnicos de la máquina de recubrimiento por pulverización de plasma compacta:
| Nombre del producto | Recubridor de pulverización catódica de plasma compacto VGB-600-3HD |
| modelo de producto | VGB-600-3HD |
| Parámetros principales | Pieza de pulverización magnetrónica de tres objetivos: 1. Tensión de alimentación: 220 V 50 Hz. 2. Potencia total: 2,5 kW. 3. Vacío máximo: < E-6mbar (puede alcanzar E-3mbar cuando se utiliza con el equipo de bombeo mecánico de nuestra empresa). 4. Temperatura de funcionamiento: temperatura ambiente - 500 ℃, precisión ±1 ℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales). 5. Número de armas objetivo: 3. 6. Método de refrigeración del cañón objetivo: refrigeración por agua. 7. Tamaño objetivo: Ø2″, espesor 0,1 mm-5 mm (el espesor varía debido a los diferentes materiales objetivo). 8. Potencia de pulverización: 300 W (RF)/500 W (CC). 9. Portamuestras: Ø140 mm. 10. Velocidad del portador de la muestra: ajustable entre 1 rpm y 20 rpm. 11. Gas protector: gas inerte como Ar y N₂2. 12. Trayectoria del gas de entrada: El medidor de flujo másico controla 2 trayectorias de entrada, un flujo es de 100 SCCM y el otro flujo es de 200 SCCM. |
GRAMOParte de la caja del amor: 1. Alimentación: monofásica AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Material de la carcasa: acero inoxidable 304. 3. Cámara de la guantera: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Cámara de pre-etapa: Hay 2 cámaras de pre-etapa, la cámara de pre-etapa grande es Ø360 mm × 600 mm y la cámara de pre-etapa pequeña es Ø150 mm × 300 mm. 5. Ambiente de la cámara: contenido de agua <1 ppm (20 ℃, 1 atm), contenido de oxígeno <1 ppm (20 ℃, 1 atm). 6. Gas de trabajo: gas inerte como N₂2, Ar, Él. 7. Gas de control: aire comprimido o gas inerte. 8. Gas reductor: una mezcla de gas de trabajo y H₂2(Si el sistema de purificación solo tiene la función de eliminar agua, el gas reductor es el mismo que el gas de trabajo). 9. Sistema de purificación de gas: materiales desoxidantes BASF de Alemania, materiales absorbentes de agua UOP de Estados Unidos, control automático del proceso de regeneración del sistema de purificación, funciones automáticas de deshidratación y desoxidación, que pueden mantener la pureza del gas en <1 ppm de agua y <1 ppm de oxígeno durante un largo tiempo. 10. Sistema de control de presión: La presión del aire de la cavidad se puede controlar automáticamente mediante la pantalla táctil del PLC con una precisión de control de ±1 Pa, y también se puede controlar manualmente mediante el interruptor de pie. 11. Sistema de filtrado: Se instalan filtros en los extremos de entrada y salida, con una precisión de filtración de 0,3 μm. 12. Sistema de control: pantalla táctil a color SIEMENS (6 pulgadas), sistema de control PLC, conmutable entre chino e inglés; La sonda de agua adopta la marca estadounidense GE, pantalla táctil de 0-1000 ppm, precisión de 0,1 ppm; El transmisor de oxígeno adopta la marca estadounidense AII, pantalla táctil de 0-1000 ppm, precisión de 0,1 ppm; El sensor de presión adopta la marca estadounidense Setra, pantalla táctil de -2500-2500 Pa, precisión ±1 Pa; 13. Bomba de vacío: marca británica EDWARDS, velocidad de bombeo 8,4 m3/h-12m3/h. 14. Guantes: de caucho sintético butílico de la marca American NORTH. 15. Sistema de iluminación: tubo fluorescente marca Philips. | |
| Especificaciones del producto | • Pieza de pulverización magnetrónica de tres objetivos: 950 mm × 460 mm × 810 mm. • Parte de la guantera: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Compromiso de calidad de tres objetivos en el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de RF:
Nuestra empresa garantiza que el recubridor de pulverización de plasma compacto suministrado es nuevo y sin usar, cumple plenamente con los requisitos de calidad, especificaciones y rendimiento estipulados en el contrato, y que nuestro sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes puede funcionar normalmente bajo condiciones correctas de instalación, uso y mantenimiento, y dentro de su vida útil.
Garantía:
Garantía limitada de un año, soporte técnico de por vida (excluyendo piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas).
Nuestros servicios:
Nuestros productos son reconocidos por numerosos clientes por su excelente rendimiento, calidad estable y durabilidad a largo plazo. Contamos con un equipo técnico profesional que ofrece a los clientes un servicio integral de asistencia, que incluye la selección de productos, la instalación y puesta en marcha, y la capacitación operativa. Ante cualquier problema que surja durante el uso, nos esforzaremos por brindarle soluciones oportunas y eficaces para que su línea de producción funcione de manera eficiente y estable.
Sobre nosotros:
Hace poco, nuestra sede en Singapur participó en la Asia Photonics Expo (APE 2025), donde exhibimos nuestras máquinas de rectificado y pulido, máquinas de recubrimiento y otros productos. Tras conocer los productos en detalle, muchos clientes elogiaron nuestros equipos y manifestaron su interés en colaborar con nosotros.
