Recubridor por pulverización catódica con 3 fuentes de pulverización
Marca Shenyang Kejing
El origen de los productos Shenyang, China
El tiempo de entrega 22 días laborables
La capacidad de oferta 50 juegos
El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres cabezales VTC-600-3HD es un equipo de recubrimiento desarrollado recientemente por nuestra empresa y se utiliza para preparar películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas y películas dieléctricas. , película óptica, película de óxido, película dura, película de PTFE, etc. El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres cabezales VTC-600-3HD está equipado con tres pistolas objetivo, una fuente de alimentación RF para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales no conductores y dos fuentes de alimentación de CC. Suministros para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores.
Principales características
1. Está equipado con tres pistolas objetivo, una fuente de alimentación RF se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales no conductores y dos fuentes de alimentación CC se utilizan para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores (la pistola objetivo se puede cambiar según las necesidades del cliente). .
2. Se puede preparar una variedad de películas delgadas con una amplia gama de aplicaciones.
3. Tamaño pequeño y fácil de operar
4. Diseño modular de toda la máquina; Diseño separado/dividido de cámara de vacío, grupo de bomba de vacío y fuente de alimentación de control, que se puede ajustar según las necesidades reales de los usuarios.
5. La fuente de alimentación se puede seleccionar según las necesidades reales del usuario. Una fuente de alimentación puede controlar varios cañones objetivo, o varias fuentes de energía pueden controlar un único arma objetivo.
tParámetros técnicos
nombre del producto | Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres cabezales VTC-600-3HD |
Modelo del Producto | VTC-600-3HD |
Condiciones de instalación | Se requiere que este equipo se utilice a una altitud de 1000 m o menos, una temperatura de 25 ℃ ± 15 ℃ y una humedad de 55 % Rh ± 10 % Rh. 1. Agua: El equipo está equipado con un enfriador de agua por autocirculación (llenado con agua pura o agua desionizada) 2. Electricidad: AC220V 50Hz, debe tener buena conexión a tierra 3. gas: La cámara del equipo debe llenarse con gas argón (pureza del 99,99 % o más) y los usuarios deben proporcionar cilindros de gas argón (con juntas de doble casquillo de Ø6 mm) y una válvula reductora de presión. 4. Banco de trabajo: tamaño 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con capacidad para más de 200 kg 5. Dispositivo de ventilación: necesario |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Tensión de alimentación: 220V 50Hz 2. Potencia: <2,5 kW 3. Límite del grado de vacío: E-6mbar (se puede alcanzar E-5mbar cuando se utiliza con el equipo de nuestra empresa) 4. Temperatura de calentamiento: RT-500 ℃, precisión ±1 ℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales). 5. Número de armas de destino: 3 piezas 6. Método de enfriamiento del arma objetivo: enfriamiento por agua 7. Tamaño del material objetivo: Ø2″, espesor 0,1-5 mm (diferentes espesores debido a los diferentes materiales objetivo) 8. Potencia de pulverización CC: 500 W (opcional) 9. Potencia de pulverización RF: 300W/500W (opcional) 10. Etapa de muestra: Ø140 mm, la función de voltaje de polarización opcional se puede instalar de acuerdo con los requisitos del cliente para lograr una mayor calidad de recubrimiento. 11. Velocidad de la etapa de muestra: ajustable entre 1 rpm y 20 rpm 12. Gas de trabajo: Ar, N2y otros gases inertes 13. Ruta de entrada de aire: El medidor de flujo másico controla 2 rutas de entrada de aire, una es de 100 SCCM y la otra es de 200 SCCM. |
Dimensión y peso del producto | Dimensión principal de la máquina: 500 mm × 560 mm × 660 mm Dimensión total: 1300 mm × 660 mm × 1200 mm Peso: 160 kg
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accesorios estandar | 1. Sistema de control de alimentación CC: 2 juegos 2. Sistema de control de potencia RF: 1 juego 3. Sistema de monitorización del espesor de la película: 1 juego 4. Bomba molecular (importada de Alemania): 1 unidad 5. Enfriador de agua: 1 unidad 6.Tubo de poliéster PU (Ø6mm): 4m |
Accesorios Opcionales | 1. Diversos materiales objetivo como oro, indio, plata, platino, etc. 2. Máscara 3. Etapa de muestra vibratoria |
Garantía
Un año limitado con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
