Recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos para recubrir sustratos y obleas
1. El sistema de preparación de batería de película delgada con caja de guantes está equipado con tres pistolas de destino, y se puede conectar una fuente de alimentación de RF correspondiente a cualquier cabezal de destino a través de un interruptor de conversión, que se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de varios materiales de destino (la pistola de destino se puede reemplazar en cualquier momento según las necesidades del cliente).
2. El sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes puede preparar una variedad de películas delgadas y es ampliamente utilizado.
3. El sistema de preparación de baterías de película delgada con caja de guantes es de tamaño pequeño y muy fácil de operar.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del recubridor compacto por pulverización catódica de plasma:
El sistema de preparación de baterías de película delgada VGB-600-3HD con caja de guantes se puede utilizar para la operación experimental en la caja de guantes y se utiliza para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas delgadas conductoras, películas delgadas de aleación, películas delgadas de semiconductores, películas delgadas de cerámica, películas delgadas dieléctricas, películas delgadas ópticas, películas delgadas de óxido, películas delgadas duras, películas delgadas de politetrafluoroetileno, etc. El recubridor de pulverización catódica de plasma compacto está equipado con tres pistolas de destino, y se puede conectar una fuente de alimentación de RF correspondiente a cualquier cabezal de destino a través de un interruptor de conversión, que se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de varios materiales de destino. En comparación con equipos similares, el recubridor de pulverización catódica de plasma compacto no solo se usa ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un tamaño pequeño y una operación fácil. Es un equipo ideal para la preparación de películas de material en el laboratorio. El recubridor de pulverización catódica de plasma compacto es particularmente adecuado para la investigación de laboratorio sobre baterías de película delgada, electrolitos sólidos y OLED. En comparación con la pulverización catódica de magnetrón ordinaria, se puede utilizar para experimentos de recubrimiento en objetivos de Li y objetivos de material a base de litio. Es un equipo ideal para experimentos de recubrimiento de laboratorio en la nueva industria energética.
Ventajas del recubridor por pulverización catódica con magnetrón de RF de tres objetivos:
1. El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de RF de tres objetivos adopta un diseño modular, y la cámara de vacío, el grupo de bomba de vacío y la fuente de alimentación de control están divididos y se pueden ajustar de acuerdo con las necesidades reales de los usuarios.
2. El recubridor de pulverización catódica con magnetrón de RF de tres objetivos puede seleccionar la fuente de alimentación según las necesidades reales de los usuarios. Una fuente de alimentación puede controlar varios cañones de objetivos, o varias fuentes de alimentación pueden controlar un solo cañón de objetivos (opcional).
3. El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de RF de tres objetivos se puede utilizar para la operación experimental en la caja de guantes, y se pueden reemplazar varios tipos de materiales de objetivo fácilmente oxidables para experimentos de recubrimiento.
Parámetros técnicos del recubridor por pulverización catódica de plasma compacto:
| Nombre del producto | Recubrimiento por pulverización catódica de plasma compacto VGB-600-3HD |
| Modelo del producto | VGB-600-3HD |
| Parámetros principales | Pieza de pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos: 1. Voltaje de alimentación: 220V 50Hz. 2. Potencia total: 2,5KW. 3. Vacío máximo: < E-6mbar (puede alcanzar E-3mbar cuando se utiliza con el equipo de bomba mecánica de nuestra empresa). 4. Temperatura de trabajo: RT-500℃, precisión ±1℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales). 5. Número de cañones de tiro: 3. 6. Método de enfriamiento del arma de tiro: enfriamiento por agua. 7. Tamaño del objetivo: Ø2″, grosor 0,1 mm-5 mm (el grosor varía según los diferentes materiales del objetivo). 8. Potencia de pulverización: 300 W (RF)/500 W (CC). 9. Portamuestras: Ø140mm. 10. Velocidad del portador de muestra: ajustable entre 1 rpm y 20 rpm. 11. Gas protector: gas inerte como Ar y N2. 12. Ruta de entrada de gas: El medidor de flujo másico controla 2 rutas de entrada, un flujo es de 100 SCCM y el otro flujo es de 200 SCCM. |
GRAMOParte de la caja del amor: 1. Fuente de alimentación: monofásica CA 110 V-220 V 50 Hz/60 Hz. 2. Material de la carcasa: acero inoxidable 304. 3. Cámara de guantes: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Cámara de pre-etapa: Hay 2 cámaras de pre-etapa, la cámara de pre-etapa grande es de Ø360 mm × 600 mm y la cámara de pre-etapa pequeña es de Ø150 mm × 300 mm. 5. Ambiente de la cámara: contenido de agua <1 ppm (20 ℃, 1 atm), contenido de oxígeno <1 ppm (20 ℃, 1 atm). 6. Gas de trabajo: gas inerte como N2, Ar, He. 7. Gas de control: aire comprimido o gas inerte. 8. Gas reductor: mezcla de gas de trabajo y H2 (si el sistema de purificación solo tiene la función de eliminar agua, el gas reductor es el mismo que el gas de trabajo). 9. Sistema de purificación de gas: materiales desoxidantes alemanes BASF, materiales absorbentes de agua UOP estadounidenses, control automático del proceso de regeneración del sistema de purificación, funciones automáticas de deshidratación y desoxidación, que pueden mantener la pureza del gas en agua <1 ppm y oxígeno <1 ppm durante mucho tiempo. 10. Sistema de control de presión: La presión del aire de la cavidad se puede controlar automáticamente mediante la pantalla táctil del PLC con una precisión de control de ±1 Pa, y también se puede controlar manualmente mediante el interruptor de pedal. 11. Sistema de filtrado: Se instalan filtros en los extremos de entrada y salida, con una precisión de filtración de 0,3 μm. 12. Sistema de control: Pantalla táctil a color SIEMENS (6 pulgadas), sistema de control PLC, bilingüe chino e inglés conmutable; La sonda de agua adopta la marca estadounidense GE, pantalla táctil de 0 a 1000 ppm, precisión de 0,1 ppm; El transmisor de oxígeno adopta la marca estadounidense AII, pantalla táctil de 0 a 1000 ppm, precisión de 0,1 ppm; El sensor de presión adopta la marca estadounidense Setra, pantalla táctil de -2500-2500 Pa, precisión ±1 Pa; 13. Bomba de vacío: marca británica EDWARDS, velocidad de bombeo 8,4m3/h-12m3/h. 14. Guantes: Caucho sintético butílico marca americana NORTH. 15. Sistema de iluminación: Tubo fluorescente marca Philips. | |
| Especificaciones del producto | Pieza de pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos: 950 mm × 460 mm × 810 mm. Parte de la guantera: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Compromiso de calidad de tres objetivos de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de RF:
Nuestra empresa garantiza que el recubridor de plasma pulverizado compacto suministrado es nuevo y sin usar, cumple totalmente con los requisitos de calidad, especificaciones y rendimiento estipulados en el contrato, y nuestro sistema de preparación de batería de película delgada con caja de guantes puede funcionar normalmente bajo condiciones correctas de instalación, uso y mantenimiento y dentro de la vida útil.
Garantía:
Garantía limitada de un año, soporte de por vida (excluidas las piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Nuestros servicios:
Nuestros productos son reconocidos por muchos clientes por su excelente rendimiento, calidad estable y durabilidad a largo plazo. Contamos con un equipo técnico profesional que puede brindar a los clientes una gama completa de servicios de soporte, como selección de productos, instalación y puesta en marcha, y capacitación en operación. Sin importar los problemas que encuentre durante el uso, nos esforzaremos por brindarle soluciones oportunas y efectivas para que su línea de producción funcione de manera eficiente y estable.
Sobre nosotros:
Hace poco, nuestro distrito de Singapur participó en la Asia Photonics Expo (APE 2025), donde exhibimos nuestras máquinas de pulido y rectificado, máquinas de recubrimiento y otros productos. Después de conocer los productos en detalle, muchos clientes elogiaron nuestros equipos y expresaron su deseo de cooperar con nosotros.
