Recubridor de pulverización catódica de plasma de magnetrón de alto vacío de cabezal único

Modelo del Producto

VTC-600-1HD

Condiciones de instalación

Se requiere que este equipo se use a una altitud de 1000 mo menos, una temperatura de 25 ℃ ± 15 ℃ y una humedad de 55 % Rh ± 10 % Rh.

1. Agua: El equipo está equipado con enfriador de agua autocirculante (llenado con agua pura o agua desionizada)

2. Electricidad: AC220V 50Hz, debe tener buena conexión a tierra

3. gas: La cámara del equipo debe llenarse con gas argón (pureza del 99,99% o más), y los usuarios deben proporcionar cilindros de gas argón (con juntas de doble férula de Ø6 mm) y una válvula reductora de presión.

4. Banco de trabajo: tamaño 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con más de 200 kg

5. Dispositivo de ventilación: necesario

Parámetros principales

(Especificación)

1. Voltaje de la fuente de alimentación: 220V 50Hz

2. Potencia: <1KW (sin incluir bomba de vacío)

3. Diámetro interior de la cámara: Ø300mm

4. Límite del grado de vacío: 9,0×10-4Pa

5. Temperatura de calentamiento de la etapa de muestra: RT-500 ℃, precisión de ± 1 ℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales).

6. Número de pistolas de destino: 1 pieza (otras cantidades para la opción)

7. Método de enfriamiento de la pistola objetivo: enfriamiento por agua

8. Tamaño del material objetivo: Ø2″, grosor 0,1-5 mm (diferentes grosores debido a los diferentes materiales objetivo)

9. Potencia de pulverización de CC: 500W; Potencia de pulverización de RF: 300 W (el tipo de fuente de alimentación de destino es opcional: una fuente de alimentación de CC o una fuente de alimentación de RF).

10. Etapa de muestra: Ø140 mm, la función de voltaje de polarización opcional se puede instalar de acuerdo con los requisitos del cliente para lograr una mayor calidad de recubrimiento.

11. Velocidad de la etapa de muestra: ajustable dentro de 1rpm-20rpm

12. Gas de trabajo: Ar y otros gases inertes

13. Vía de entrada de aire: el medidor de flujo másico controla 2 vías de entrada de aire, una es 100SCCM y la otra es 200SCCM.

Dimensión y peso del producto

1. Dimensiones de la máquina principal: 500 mm × 560 mm × 660 mm

2. Dimensión total: 1300 mm × 660 mm × 1200 mm

3. Peso: 160 kg

4. Dimensión de la cámara de vacío: φ300×300mm

accesorios estandar

1. Sistema de control de alimentación de CC: 1 juego (opcional)

2. Sistema de control de potencia RF: 1 juego (opcional)

3. Enfriador de agua: 1 Uds.

4. Tubo Poliéster PU (Ø6mm): 4m

Accesorios Opcionales

1. Diversos materiales de destino como oro, indio, plata, platino, etc.

2. Sistema de monitoreo de espesor de película

3. bomba molecular (importada de Alemania)