Recubridor por pulverización catódica con 3 fuentes de pulverización y guantera
Marca Shenyang Kejing
El origen de los productos Shenyang, China
El tiempo de entrega 44 días laborables
La capacidad de oferta 50 juegos
El sistema de preparación de baterías de película delgada VGB-600-3HD puede realizar operaciones experimentales en una caja de guantes y se utiliza para preparar películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, película óptica, película de óxido, película dura, película de PTFE, etc. El sistema está equipado con tres pistolas de objetivo y una fuente de alimentación de RF para el recubrimiento por pulverización catódica de diversos materiales de objetivo. La fuente de alimentación de RF se puede conectar a cualquier cabezal objetivo mediante un interruptor de transferencia.
Principales características
1. El sistema está equipado con tres cañones objetivo y una fuente de alimentación de RF para el recubrimiento por pulverización catódica de diversos materiales objetivo. La fuente de alimentación de RF se puede conectar a cualquier cabezal objetivo mediante un interruptor de transferencia. (La pistola objetivo se puede cambiar según las necesidades del cliente).
2. Se puede preparar una variedad de películas delgadas con una amplia gama de aplicaciones.
3. Tamaño pequeño y fácil de operar
4. Diseño modular de toda la máquina; Diseño separado/dividido de cámara de vacío, grupo de bomba de vacío y fuente de alimentación de control, que se puede ajustar según las necesidades reales de los usuarios. (opcional)
5. La fuente de alimentación se puede seleccionar según las necesidades reales del usuario. Una fuente de alimentación puede controlar varios cañones objetivo, o varias fuentes de energía pueden controlar un único arma objetivo.
6. La operación experimental se puede llevar a cabo en la guantera y se pueden reemplazar varios tipos de objetivos que se oxidan fácilmente para los experimentos de recubrimiento.
tParámetros técnicos
nombre del producto | Sistema de preparación de batería de película delgada VGB-600-3HD |
Modelo del Producto | VGB-600-3HD |
Parámetros principales (Especificación) | Parte de pulverización catódica con magnetrón de tres cabezas: 1. Tensión de alimentación: 220V 50Hz 2. Potencia total: 2,5 kW 3. Límite del grado de vacío: E-6mbar (se puede alcanzar E-3mbar cuando se utiliza con el equipo de bomba mecánica de nuestra empresa) 4. Temperatura de calentamiento: RT-500 ℃, precisión ±1 ℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales). 5. Número de armas de destino: 3 piezas 6. Método de enfriamiento del arma objetivo: enfriamiento por agua 7. Tamaño del material objetivo: Ø2″, espesor 0,1-5 mm (diferentes espesores debido a los diferentes materiales objetivo) 8. Fuente de alimentación de pulverización: 300W (RF)/500W (DC) 9. Etapa de muestra: Ø140mm 10. Velocidad de la etapa de muestra: ajustable entre 1 rpm y 20 rpm 11. Gas de trabajo: Ar, N2y otros gases inertes 12. Ruta de entrada de aire: El medidor de flujo másico controla 2 rutas de entrada de aire, una es de 100 SCCM y la otra de 200 SCCM. Parte de la guantera: 1. Fuente de alimentación: monofásica AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Material de la carcasa: acero inoxidable 304 3. Cámara de la guantera: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Cámara frontal: Hay 2 cámaras frontales, la cámara frontal grande mide Ø360 mm × 600 mm y la cámara frontal pequeña mide Ø150 mm × 300 mm. 5. Entorno de la cámara: contenido de agua <1 ppm (20 ℃, 1 atm), contenido de oxígeno <1 ppm (20 ℃, 1 atm) 6. Gas de trabajo: N2, Ar, He y otros gases inertes 7. Gas de control: aire comprimido o gas inerte. 8. Gas reductor: una mezcla de gas de trabajo y H2 (si el sistema de purificación solo tiene la función de eliminar agua, el gas reductor es el mismo que el gas de trabajo.) 9. Sistema de purificación de gases: Material desoxidante alemán BASF, material absorbente de agua de alta eficiencia UOP estadounidense, control automático del proceso de regeneración del sistema de purificación, funciones automáticas de eliminación de agua y oxígeno, capaz de mantener continuamente la pureza del gas (a un nivel de agua <1 ppm y oxígeno <1 ppm). ) a largo plazo 10. Sistema de control de presión: La presión del aire de la cámara se puede controlar automáticamente mediante la pantalla táctil PLC, la precisión del control es ±1Pa y también se puede controlar manualmente mediante un interruptor de pie. 11. Sistema de filtración: Los filtros se instalan en los extremos de entrada y salida y la precisión de filtración es de 0,3 μm. 12. Sistema de control: pantalla táctil a color SIEMENS (6 pulgadas), sistema de control PLC, conmutación bilingüe en chino e inglés * La sonda de agua adopta la marca estadounidense GE, con pantalla táctil de 0-1000 ppm y precisión de 0,1 ppm. * El transmisor de oxígeno adopta la marca American AII, con pantalla táctil de 0-1000 ppm y precisión de 0,1 ppm. * El sensor de presión adopta la marca estadounidense Setra, con pantalla táctil de -2500-2500Pa y precisión de ±1Pa. 13. Bomba de vacío: marca británica EDWARDS con velocidad de bombeo de 8,4 m3/h-12 m3/h 14. Guantes: Marca americana NORTH (caucho sintético butílico) 15. Sistema de iluminación: marca Philips (tubo fluorescente) |
Dimensión del producto | Pieza de pulverización catódica con magnetrón de tres cabezales: 950 mm × 460 mm × 810 mm Parte de la guantera: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garantía
Un año limitado con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
