Equipo de recubrimiento por pulverización catódica magnetrónica de alto vacío
1. Los equipos de recubrimiento de laboratorio tienen una presentación de alta eficacia y mejoran enormemente la precisión del trabajo.
2. El equipo de recubrimiento de laboratorio es desarrollado independientemente por nosotros, con un control perfecto de la tecnología.
3. Los equipos de recubrimiento de laboratorio son de uso común y adecuados para diversos tipos de películas.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción a los equipos de recubrimiento de laboratorio:
El equipo de recubrimiento por pulverización catódica magnetrónica VTC-800G es un equipo compacto desarrollado por nuestra empresa. Este equipo se utiliza ampliamente en la preparación de películas monocapa o multicapa de ferroeléctricos, conductores, aleaciones, semiconductores, cerámicas, dieléctricos, ópticas, óxidos, películas duras y politetrafluoroetileno.
Los equipos de recubrimiento pequeños pueden equiparse con un sistema de cañón multiobjetivo, que admite la pulverización catódica por radiofrecuencia de materiales no conductores y la pulverización catódica por corriente continua de materiales conductores para satisfacer diversos requisitos de proceso.
En comparación con equipos similares, el equipo de recubrimiento VTC-800G Small es compacto, fácil de usar y versátil. Resulta ideal para la preparación en laboratorio de materiales funcionales de película delgada, y es especialmente adecuado para la investigación y el desarrollo de nuevos materiales como electrolitos sólidos y OLED.
Características principales de los equipos de recubrimiento de precisión:
1. Los equipos de recubrimiento pequeños pueden equiparse con múltiples cañones de objetivos, compatibles con fuentes de alimentación de RF y CC, que se utilizan para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales objetivo no conductores y conductores respectivamente, y los cañones de objetivos pueden reemplazarse de forma flexible según sea necesario;
2. Los equipos de recubrimiento de precisión son compatibles con la preparación de diversas películas funcionales y tienen una amplia gama de aplicaciones;
3. Los equipos de recubrimiento de precisión son de tamaño reducido, estructura compacta, fáciles de operar y adecuados para diversos entornos de laboratorio;
4. El equipo de recubrimiento de precisión tiene un diseño modular, y la cámara de vacío, el grupo de bombeo y el sistema de control de potencia están separados y se pueden combinar de forma flexible según las necesidades reales;
5. Los equipos de recubrimiento de laboratorio admiten múltiples métodos de control de potencia: una sola fuente de alimentación controla varias pistolas de recubrimiento o varias fuentes de alimentación controlan independientemente las pistolas de recubrimiento para satisfacer diferentes requisitos de proceso.
Parámetros técnicos de los equipos de recubrimiento de precisión:
| Nombre del producto | VTC-800G Equipo de recubrimiento por pulverización magnetrónica | |
| modelo de producto | VTC-800G | |
| Parámetros principales | 1. Estructura de la cámara: diseño de tapa superior cilíndrica, sistema de escape trasero. 2. Vacío máximo: 6,0 × 10-5Bien. 3. Tasa de fuga de vacío: ≤0,5 Pa en 1 hora. 4. Tiempo de escape: aproximadamente 30 minutos desde la atmósfera hasta 5,0×10-3Bien. 5. Configuración del grupo de bombas de vacío: bomba mecánica + bomba molecular. 6. Parámetros de la etapa de muestra: • Tamaño: Ø205 • Rango de temperatura: temperatura ambiente ~ 500 ℃, precisión ±1 ℃ • Velocidad de rotación: 5~20 rpm (ajustable). 7. Función de polarización: opcional (se utiliza para mejorar la calidad de la película). 8. Sistema de llenado de gas: caudalímetro másico de doble canal (argón/nitrógeno cada uno) 9. Ángulo del cabezal objetivo: el ángulo entre el cabezal objetivo y el eje central de la plataforma de la muestra es de 34°. 10. Número de cabezales objetivo: 2 como estándar (se puede ampliar a 4 como opción). 11. Método de refrigeración del cañón objetivo: refrigeración por agua 12. Especificaciones del material objetivo: diámetro Ø3″, espesor 0,1~5 mm (dependiendo del material objetivo) | |
13. Especificaciones del equipo de recubrimiento por pulverización magnetrónica: • Dimensiones totales: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm |  | |
Sobre nosotros:
Nuestra empresa lleva muchos años dedicada a la producción cinematográfica y cuenta con una amplia experiencia. Además, disponemos de una gran variedad de equipos aptos para diferentes materiales, que se adaptan a sus diversas necesidades. Podemos ayudarle a probar la eficacia de nuestros equipos. Si nos proporciona muestras, le prepararemos otras para que pueda apreciar mejor el resultado de nuestros productos. Si le convencen, podrá adquirirlos y optimizar así su trabajo.
