Equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de alto vacío
1. El equipo de recubrimiento de laboratorio tiene una presentación de alto efecto y mejora enormemente la precisión del trabajo.
2. El equipo de recubrimiento de laboratorio es desarrollado independientemente por nosotros, con un control perfecto de la tecnología.
3. El equipo de recubrimiento de laboratorio es ampliamente utilizado y adecuado para varios tipos de películas.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del equipo de recubrimiento de laboratorio:
El VTC-800G es un pequeño equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón, desarrollado por nosotros. Este equipo se utiliza ampliamente en la preparación de películas ferroeléctricas monocapa o multicapa, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras y películas de politetrafluoroetileno.
Los equipos de recubrimiento pequeños se pueden equipar con un sistema de pistola de múltiples objetivos, que admite la pulverización catódica con potencia de RF de materiales no conductores y la pulverización catódica con potencia de CC de materiales conductores para cumplir con diversos requisitos de proceso.
En comparación con equipos similares, el equipo de recubrimiento VTC-800G Small es compacto, fácil de operar y versátil. Es ideal para la preparación en laboratorio de materiales funcionales de película delgada, especialmente adecuado para la investigación y el desarrollo de nuevos materiales como electrolitos sólidos y OLED.
Características principales de los equipos de recubrimiento de precisión:
1. Los equipos de recubrimiento pequeños pueden equiparse con múltiples pistolas objetivo, compatibles con fuentes de alimentación de RF y CC, que se utilizan para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales objetivo no conductores y conductores respectivamente, y las pistolas objetivo se pueden reemplazar de manera flexible según sea necesario;
2. El equipo de recubrimiento de precisión es compatible con la preparación de diversas películas funcionales y tiene una amplia gama de aplicaciones;
3. El equipo de recubrimiento de precisión es de tamaño pequeño, de estructura compacta, fácil de operar y adecuado para diversos entornos de laboratorio;
4. El equipo de recubrimiento de precisión tiene un diseño modular, y la cámara de vacío, el grupo de bombas y el sistema de control de potencia están separados y se pueden combinar de manera flexible según las necesidades reales;
5. Los equipos de recubrimiento de laboratorio admiten múltiples métodos de control de potencia: una sola fuente de alimentación controla varias pistolas objetivo o varias fuentes de alimentación controlan de forma independiente las pistolas objetivo para cumplir con diferentes requisitos del proceso.
Parámetros técnicos del equipo de recubrimiento de precisión:
| Nombre del producto | Equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón | |
| Modelo de producto | VTC-800G | |
| Parámetros principales | 1. Estructura de la cámara: diseño de cubierta superior cilíndrica, sistema de escape trasero. 2. Vacío máximo: 6,0×10-5 Pa. 3. Tasa de fuga de vacío: ≤0,5 Pa en 1 hora. 4. Tiempo de escape: aproximadamente 30 minutos desde la atmósfera hasta 5,0×10-3 Pa. 5. Configuración del grupo de bombas de vacío: bomba mecánica + bomba molecular. 6. Parámetros de la etapa de muestra: · Tamaño: Ø205 · Rango de temperatura: temperatura ambiente ~ 500 ℃, precisión ± 1 ℃ · Velocidad de rotación: 5~20 rpm (ajustable). 7. Función de sesgo: opcional (se utiliza para mejorar la calidad de la película). 8. Sistema de llenado de gas: caudalímetro másico de doble canal (argón/nitrógeno cada uno) 9. Ángulo del cabezal objetivo: el ángulo entre el cabezal objetivo y el eje central de la platina de muestra es de 34° 10. Número de cabezales objetivo: 2 como estándar (se puede ampliar a 4 como opción). 11. Método de refrigeración del arma de tiro: refrigeración por agua 12. Especificaciones del material objetivo: diámetro Ø3″, espesor 0,1~5 mm (dependiendo del material objetivo) | |
13. Especificaciones del equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón: · Tamaño total: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm |  | |
Sobre nosotros:
Nuestra empresa lleva muchos años dedicada al sector cinematográfico y cuenta con una amplia experiencia. Además, disponemos de una variedad de equipos adecuados para diferentes materiales que satisfacen sus diversas necesidades. También podemos ayudarle a probar el rendimiento del equipo. Puede proporcionarnos muestras y las prepararemos para que pueda apreciar el efecto de nuestros productos de forma más intuitiva. Si le convencen nuestros productos, puede comprarlos y realizar su trabajo con mayor fluidez.
