Equipo de preparación de película fina de alto vacío
1. El instrumento de preparación de película delgada está desarrollado con tecnología de Shenyang Kejing, que es duradera y estable.
2. La propia fábrica de la empresa produce y prueba el instrumento de preparación de película fina para garantizar la calidad y el nivel de recubrimiento.
3. Brindamos un servicio completo, para que pueda usarlo con confianza y maximizar la función del instrumento de preparación de película delgada.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del instrumento de recubrimiento al vacío para investigación:
El instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón VTC-600GD es un equipo de recubrimiento de reciente desarrollo, que permite preparar películas delgadas ferroeléctricas monocapa o multicapa, películas delgadas conductoras, películas delgadas de aleación, películas delgadas de semiconductores, películas delgadas de cerámica, películas delgadas dieléctricas, películas delgadas ópticas, películas delgadas de óxido, películas delgadas duras, películas delgadas de politetrafluoroetileno, etc. El instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón VTC-600GD puede equiparse con hasta cuatro pistolas de objetivo, con fuente de alimentación de RF para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales no conductores y fuente de alimentación de CC para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores. Comparado con equipos similares, el instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón no solo es ampliamente utilizado, sino que también ofrece las ventajas de su pequeño tamaño y fácil manejo. Es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en el laboratorio, especialmente adecuado para la investigación de laboratorio con electrolitos sólidos y OLED.
Características principales del instrumento de recubrimiento al vacío para investigación:
1. Se pueden seleccionar hasta cuatro pistolas objetivo, y la fuente de alimentación de RF correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales objetivo no conductores, y la fuente de alimentación de CC correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores (las pistolas objetivo se pueden reemplazar a voluntad según las necesidades del cliente).
2. Puede preparar una variedad de películas delgadas y tiene una amplia gama de aplicaciones.
3. El instrumento de recubrimiento al vacío para investigación es de tamaño pequeño y fácil de operar.
4. El instrumento de preparación de película delgada tiene un diseño modular de toda la máquina, y la cámara de vacío, el grupo de bomba de vacío y la fuente de alimentación de control son diseños divididos, que se pueden ajustar según las necesidades reales de los usuarios.
5. El instrumento de preparación de película delgada puede seleccionar la fuente de alimentación según las necesidades reales del usuario. Una sola fuente de alimentación puede controlar varios cañones de objetivo, o varias pueden controlar un solo cañón de objetivo.
Parámetros técnicos del instrumento de recubrimiento al vacío para investigación:
Nombre del producto | Instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón VTC-600GD |
Modelo de producto | VTC-600GD |
Condiciones de instalación | Este equipo debe utilizarse a una temperatura de 25 °C ± 15 °C y una humedad de 55 % Rh ± 10 % Rh. 1. Agua: El instrumento de recubrimiento al vacío para investigación está equipado con una máquina de agua de refrigeración autocirculante (llena de agua pura o agua desionizada) 2. Electricidad: CA 220 V 50 Hz, debe estar bien conectado a tierra. 3. Gas: La cámara del equipo debe llenarse con argón (pureza superior al 99,99 %), y debe preparar su propio cilindro de gas argón (con conector de doble casquillo de Ø6 mm) y una válvula reductora de presión. 4. Banco de trabajo: tamaño 1500 mm × 600 mm × 700 mm, capacidad de carga superior a 200 kg 5. Dispositivo de ventilación: requerido |
Parámetros principales | 1. Voltaje de alimentación: 220V 50Hz. |
2. Potencia total: <3,5KW. | |
3. Diámetro interior de la cámara: Ø300mm. | |
4. Vacío máximo 8,0x10-5Pa. | |
5. Temperatura de trabajo: RT-500 ℃, precisión ±1 ℃ (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales). | |
6. Número de cañones objetivo: 4. | |
7. Método de enfriamiento del arma blanca: enfriamiento por agua. | |
8. Tamaño del objetivo: Ø2″, espesor 0,1 mm-5 mm (el espesor varía según los diferentes materiales del objetivo). | |
9. Potencia de pulverización continua: 500 W (opcional). | |
10. Potencia de pulverización RF: 300W. | |
11. Platina de muestra: Ø140mm. | |
12. Velocidad de la etapa de muestra: ajustable entre 1 rpm y 20 rpm. | |
13. Gas protector: Ar, N2 y otros gases inertes. | |
14. Ruta de entrada de gas: El medidor de flujo másico controla 2 rutas de entrada, 1 caudal es de 100 SCCM, 1 caudal es de 200 SCCM. | |
15. Especificaciones del producto: · Dimensiones: Tamaño del host: 800 mm × 1000 mm × 1300 mm; · Peso: 190 kg |
Accesorios estándar del instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón:
| NO. | Nombre | Cantidad | Imagen |
| 1 | Sistema de control de potencia de CC | (Opcional) Conjunto | - |
| 2 | Sistema de control de potencia de RF | 1 juego | - |
| 3 | Sistema de monitorización del espesor de la película | 1 juego | - |
| 4 | Bomba molecular | 1 unidad | - |
| 5 | Enfriador | 1 unidad | - |
| 6 | Tubo de poliéster PU (Ø6mm) | 4 metros | - |
Accesorios opcionales del instrumento de preparación de película delgada:
| NO. | Nombre | Función | Imagen |
| 1 | Diversos objetivos como oro, indio, plata, platino, etc. | (opcional) | - |
| 2 | Se pueden utilizar objetivos magnéticos fuertes opcionales para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales ferromagnéticos. | (opcional) | - |
Garantía:
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística:
Sobre nosotros:
Somos una empresa de alta tecnología dedicada a la investigación, el desarrollo y la producción de máquinas de recubrimiento, y somos líderes en el sector. Cada uno de nuestros productos ha sido cuidadosamente diseñado y rigurosamente probado por diseñadores, y ofrece un alto nivel de rendimiento y precisión. No solo nos centramos en el producto en sí, sino que también prestamos atención a la innovación tecnológica y a la relación con los clientes, y nos comprometemos a proporcionar instrumentos experimentales de alta calidad a clientes globales.
Desde la consulta hasta el servicio posventa, ofrecemos un servicio de primera clase a cada cliente. Nuestro equipo de profesionales puede recomendarle el equipo adecuado, brindarle soporte técnico durante el uso del producto, responder a sus preguntas y ayudarle a completar su proyecto sin contratiempos. Creemos que, con nuestra amplia experiencia, podemos ayudar a más empresas a alcanzar sus objetivos.
Shenyang Kejing mantiene como lema "práctico, dedicado, trabajador, trabajo en equipo, creíble, innovador, responsable, productos de alta calidad y servicios avanzados primero al cliente", delicado para proporcionar productos y servicios brillantes a clientes nacionales y extranjeros.
Para mantener un estrecho contacto con colegas y clientes de la industria, participamos activamente en importantes ferias nacionales e internacionales. Cada año, presentamos nuestras últimas tecnologías y productos en diversas ferias importantes. Gracias a estas plataformas, donde podemos conocer a los clientes personalmente, más personas pueden comprendernos y apoyarnos. A lo largo de los años, hemos conseguido numerosos clientes y contratos de cooperación en estas plataformas. No solo es una muestra de nuestros logros, sino también una importante manera de acercarnos a la industria.
