Instrumento de pulverización catódica con magnetrón de alto vacío

Introducción del equipo de pulverización catódica por magnetrón:

El recubridor de alto vacío por pulverización catódica con magnetrón VTC-600G es un equipo de recubrimiento de reciente desarrollo, que permite preparar películas ferroeléctricas monocapa o multicapa, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroetileno, etc. El equipo de pulverización catódica con magnetrón VTC-600G puede equiparse con múltiples pistolas de objetivo, y la fuente de alimentación de RF correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales objetivo no conductores, y la fuente de alimentación de CC correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores. En comparación con equipos similares, el equipo de pulverización catódica con magnetrón no solo es ampliamente utilizado, sino que también ofrece las ventajas de su pequeño tamaño y fácil manejo. Es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en el laboratorio, especialmente adecuado para la investigación de laboratorio con electrolitos sólidos y OLED.

Características principales del equipo de pulverización catódica por magnetrón:

·El instrumento de pulverización catódica con magnetrón de vacío se puede equipar con múltiples pistolas objetivo, y la fuente de alimentación de RF correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales objetivo no conductores, y la fuente de alimentación de CC correspondiente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores (la pistola objetivo se puede reemplazar a voluntad según las necesidades del cliente).

·El instrumento de pulverización catódica con magnetrón al vacío puede preparar una variedad de películas delgadas y es ampliamente utilizado.

·El instrumento de pulverización catódica con magnetrón al vacío es de tamaño pequeño y fácil de operar.

·Toda la máquina tiene un diseño modular, y la cámara de vacío, el grupo de bomba de vacío y la fuente de alimentación de control son diseños divididos, que se pueden ajustar según las necesidades reales de los usuarios.

La fuente de alimentación se puede seleccionar según las necesidades del usuario. Una sola fuente puede controlar varios cañones de tiro, o varias pueden controlar un solo cañón.

Parámetros técnicos del instrumento de pulverización catódica con magnetrón al vacío:

Nombre del producto	Instrumento de pulverización catódica con magnetrón de alto vacío VTC-600G
Modelo de producto	VTC-600G
Parámetros principales	1. Estructura: estructura de puerta frontal de escritorio, sistema de escape trasero.
	2. Vacío máximo: 6,0X10-5Pa.
	3. Tasa de fuga: 1h≤0,5Pa.
	4. El tiempo de escape es de aproximadamente 20 minutos desde la atmósfera hasta 5,0X10-3.
	5. Grupo de bombas de vacío: bomba mecánica + bomba molecular.
	6. Plataforma de muestra: φ140, temperatura ambiente -500 °C, precisión ±1 °C (la temperatura se puede aumentar según las necesidades reales), rotación ajustable entre 5 y 20 rpm. Se puede añadir la función de polarización según las necesidades del cliente para lograr un recubrimiento de mayor calidad.
	7. Sistema de llenado de gases: 2 medidores de caudal másico (Argón/nitrógeno cada uno).
	8. El ángulo entre el cabezal del objetivo y el eje central de la platina de muestra es de 34°.
	9. Número de cabezales objetivo: 3 (120° entre sí).
	10. Método de enfriamiento del arma objetivo: enfriamiento por agua.
	11. Tamaño del material objetivo: φ2″, espesor 0,1-5 mm (el espesor varía según los diferentes materiales objetivo).
	12. Especificaciones del producto: · Dimensiones: Tamaño completo de la máquina: 700 mm × 852 mm × 1529 mm;

Accesorios opcionales del equipo de pulverización catódica por magnetrón:

Garantía:

Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)

Logística:

Sobre nosotros:

Somos una empresa de alta tecnología dedicada a la investigación, el desarrollo y la producción de máquinas de recubrimiento, y somos líderes en el sector. Cada uno de nuestros productos ha sido cuidadosamente diseñado y rigurosamente probado por diseñadores, y ofrece un alto nivel de rendimiento y precisión. No solo nos centramos en el producto en sí, sino que también prestamos atención a la innovación tecnológica y a la relación con los clientes, y nos comprometemos a proporcionar instrumentos experimentales de alta calidad a clientes globales.