Limpiador de plasma con bomba de vacío
La cámara de plasma del limpiador de plasma pequeño PCE-6 es una cámara de cuarzo de Ø160 mm × 190 mm. La potencia de RF utilizada es de 3,0 MHz (1 %) y la potencia de salida se puede ajustar en tres niveles: 7,2 W, 10,2 W y 29,6 W. Esta máquina elimina principalmente la capa de óxido y los contaminantes de los sustratos mediante plasma de aire, oxígeno, argón y otros gases, y también puede modificar las propiedades de la superficie de los objetos (como la hidrofilicidad y la hidrofobicidad, etc.).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
ElLimpiador de plasma compacto PCE-6cuenta con una cámara de plasma de cuarzo de Ø160 mm × 190 mm y está equipado con una fuente de alimentación RF que funciona a 3,0 MHz (±1%), con tres niveles de potencia de salida ajustables: 7,2 W, 10,2 W y 29,6 W.
Este sistema utiliza plasma generado a partir de gases como aire, oxígeno o argón para eliminar óxidos y contaminantes de los sustratos, a la vez que modifica las propiedades de la superficie (p. ej., características hidrofílicas o hidrofóbicas). Es ideal para la limpieza de sustratos y el tratamiento de películas delgadas.
El PCE-6 es compacto y compacto, ideal para entornos de laboratorio. Está equipado con una bomba de vacío rotatoria doble para evacuar la cámara y permitir la introducción de gases como el argón, lo que lo hace especialmente adecuado para la limpieza de materiales fácilmente oxidables.
Características principales
1. A través de los botones e interruptores del panel de control, se puede controlar y ajustar la potencia de RF, la apertura y cierre de la bomba de vacío y el tiempo de limpieza.
2. El tiempo, la potencia, el grado de vacío y otra información se muestran en un grupo de 4 tubos digitales.
3. Equipado con una válvula de tres vías que controla con precisión el flujo de aire de admisión y limpia la cámara con aire atmosférico. La interfaz de admisión es una funda de tarjeta de 6 mm.
4. Se elige un equipo de suministro de energía de RF de gran potencia para realizar experimentos de grabado y calcinación de plasma.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Limpiador de plasma pequeño PCE-6 |
Modelo de producto | PCE-6 |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Fuente de alimentación: CA 220 V 50/60 Hz 2. Potencia de salida: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potencia de la bomba de vacío: <500W 4. Potencia total: <600W 5. Frecuencia de RF: 3,0 MHz, la potencia se puede ajustar manualmente en 3 niveles. 6. Cámara de plasma: cámara de cuarzo de alta pureza de Ø160 mm × 190 mm, sellada con brida plegada de aluminio con una ventana de observación de Ø45 mm en la brida. 7. Bomba de vacío: 120 L/min, bomba de vacío rotativa de doble etapa de conexión directa 8. Vacío máximo: 50 mtorr 9. Introducción de gas: Se pueden introducir diversos gases para generar plasma, como N2, Ar, H2, O2, aire y gases mixtos (seleccionados según las propiedades del material) para limpieza y grabado |
Dimensiones y peso del producto | Dimensiones: 400 mm × 300 mm × 300 mm ENocho:10,2 kilos |
Accesorios opcionales
| No. | Nombre | Categoría de función | Imagen |
| 1 | 2"-6" Barco/portador de cuarzo (para sujetar el sustrato) | Opcional | - |
| 2 | Sistema de mezcla de gas de flotación o protón de 2 a 4 canales | Opcional | - |
Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
