Limpiador de plasma con bomba de vacío
Marca Shenyang Kejing
El origen de los productos Shenyáng, China
El tiempo de entrega 10 días hábiles
La capacidad de oferta 50 juegos
La cámara de plasma del limpiador de plasma pequeño PCE-6 es una cámara de cuarzo de Ø160mm×190mm. La potencia de RF utilizada es de 3,0 MHz (1 %) y la potencia de salida se puede ajustar en tres niveles: 7,2 W, 10,2 W y 29,6 W. Esta máquina elimina principalmente la capa de óxido y los contaminantes de los sustratos a través del plasma de aire, oxígeno o argón y otros gases, y también puede cambiar las propiedades de la superficie de los objetos (como la hidrofilicidad e hidrofobicidad, etc.).
Principales características
1. A través de los botones e interruptores del panel de control, se puede controlar y ajustar la potencia de RF, la apertura y el cierre de la bomba de vacío y el tiempo de limpieza.
2. El tiempo, la potencia, el grado de vacío y otra información se muestran en un grupo de 4 tubos digitales.
3. Equipado con una válvula de tres vías, que puede controlar con precisión el flujo de aire de admisión y limpiar la cámara con aire atmosférico. La interfaz de entrada es una interfaz de funda de tarjeta de 6 mm.
4. Se elige un equipo de fuente de alimentación de RF de gran potencia para realizar experimentos de grabado con plasma y cenizas.
TParámetros técnicos
nombre del producto | Limpiador de plasma pequeño PCE-6 |
Modelo del Producto | PCE-6 |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Fuente de alimentación: AC220V 50/60Hz 2. Potencia de salida: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potencia de la bomba de vacío: <500W 4. Potencia total: <600W 5. Frecuencia RF: 3,0 MHz, la potencia se puede ajustar manualmente en 3 niveles 6. Cámara de plasma: cámara de cuarzo de alta pureza de Ø160 mm × 190 mm, sellada con brida plegada de aluminio con una ventana de observación de Ø45 mm en la brida 7. Bomba de vacío: 120 l/min, bomba de vacío rotativa de dos etapas de conexión directa 8. Vacío final: 50mtorr 9. Introducción de gas: se pueden introducir varios gases para generar plasma, como N2, Ar, H2, O2, aire y gases mixtos (seleccionados según las propiedades del material) para limpieza y grabado |
Dimensión y peso del producto | Dimensión: 400 mm × 300 mm × 300 mm ENocho:10,2 kg
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Accesorios Opcionales | 1. 2"-6"Barco/portador de cuarzo (para sujetar el sustrato) 2. Sistema de mezcla de gas flotante o de protones de 2 a 4 canales |
Garantía
Un año limitado con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
