Limpiador de plasma con fuente de alimentación de alta potencia de RF
El limpiador de plasma pequeño PCE-6V integra tecnología de generación de plasma de RF, control computacional y programación de software, y utiliza gas como medio de limpieza, lo que evita eficazmente la contaminación secundaria causada por el medio de limpieza líquido. La etapa de muestra del limpiador de plasma pequeño PCE-6V puede equiparse con una función de calentamiento y se puede aplicar una tensión de polarización negativa para el grabado de plasma de la muestra. Además, puede modificar las propiedades de ciertas superficies de materiales según sea necesario en condiciones específicas.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Características principales
1. El uso de gas como medio de limpieza evita la contaminación secundaria causada por el medio de limpieza líquido.
2. Los contaminantes orgánicos se pueden limpiar a fondo en poco tiempo.
3. El grado de limpieza puede alcanzar el nivel molecular.
4. Las propiedades de algunas superficies materiales se pueden modificar según sea necesario en condiciones específicas.
5. La descarga luminiscente en el proceso de limpieza puede mejorar la adhesión, compatibilidad y humectabilidad de algunos materiales especiales, y puede desinfectar y esterilizar.
6. La etapa de muestra se puede equipar con una función de calentamiento y se puede agregar polarización negativa para el grabado de plasma.
7. Ampliamente utilizado en óptica, fotoelectrónica/optoelectrónica, electrónica, ciencia de los materiales, ciencias de la vida, ciencia de los polímeros, biomedicina, microfluídica y otros campos.
Parámetros técnicos
Nombre del producto | Limpiador de plasma pequeño PCE-6V | |
Modelo de producto | PCE-6V | |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Voltaje: CA 220 V 10 A 2. Consumo de energía: <500 W (incluida la bomba de vacío) 3. Fuente de alimentación RF: potencia de salida 100 W, frecuencia de salida 13,56 MHz 4. Cámara: Ø190 mm × 98 mm 5. Tubo de cuarzo: Ø180 mm × 55 mm, espesor de pared 7 mm 6. Cámara interior: Ø165 mm × 55 mm 7. Electrodo de limpieza: Ø120mm 8. Platina de muestra: Ø150 mm, tamaño efectivo Ø140 mm 9. Distancia entre la platina de muestra y el electrodo: ajustable entre 15 mm y 50 mm. 10. Tubo de escape: Ø12mm 11. Grado de vacío máximo: 0,1 Pa 12. Grado de vacío de trabajo: 60 Pa-500 Pa 13. Número de canales de aire: 2 (opcional) 14. Número de controladores de flujo: 1, 2 15. Indicador de flujo: 2 canales 16. Interfaz neumática: Ø6mm 17. Platina de calentamiento de muestra: Ø100 mm, temperatura de calentamiento de muestra 200 ℃-500 ℃ (opcional) 18. Presión del agua de refrigeración: 0,2 kPa-0,4 kPa 19. Ambiente de trabajo: temperatura 5℃-35℃, humedad <80% (humedad relativa) sin condensación. | |
Dimensiones y peso del producto | Dimensiones: 245 mm × 235 mm × 460 mm (sin bomba de vacío) Peso: 20 kg (sin bomba de vacío) |
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Accesorios opcionales
| No. | Nombre | Categoría de función | Imagen |
| 1 | Etapa de muestra de calentamiento | Opcional | - |
| 2 | Controlador de flujo (rango 10, 50, 100, se puede agregar el número de canales ≤ 2) | Opcional | - |
Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
