Limpiador de plasma con bomba de vacío
La cámara de plasma del limpiador de plasma pequeño PCE-6 es una cámara de cuarzo de Ø160mm×190mm. La potencia de RF utilizada es de 3,0 MHz (1%) y la potencia de salida se puede ajustar en tres niveles: 7,2 W, 10,2 W y 29,6 W. Esta máquina elimina principalmente la capa de óxido y los contaminantes de los sustratos a través de plasma de aire, oxígeno o argón y otros gases, y también puede cambiar las propiedades de la superficie de los objetos (como hidrofilicidad e hidrofobicidad, etc.).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Principales características
1. A través de los botones e interruptores del panel de control se puede controlar y ajustar la potencia RF, la apertura y cierre de la bomba de vacío y el tiempo de limpieza.
2. El tiempo, la potencia, el grado de vacío y otra información se muestran en un grupo de 4 tubos digitales.
3. Equipado con una válvula de tres vías, que puede controlar con precisión el flujo de aire de admisión y limpiar la cámara con aire atmosférico. La interfaz de entrada es una interfaz de funda para tarjeta de 6 mm.
4. Se elige un equipo de suministro de energía RF de gran potencia para realizar experimentos de grabado con plasma y calcinación.
tParámetros técnicos
nombre del producto | Limpiador de plasma pequeño PCE-6 |
Modelo del Producto | PCE-6 |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Fuente de alimentación: CA 220 V 50/60 Hz. 2. Potencia de salida: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potencia de la bomba de vacío: <500W 4. Potencia total: <600W 5. Frecuencia RF: 3,0 MHz, la potencia se puede ajustar manualmente en 3 niveles 6. Cámara de plasma: cámara de cuarzo de alta pureza de Ø160 mm × 190 mm, sellada con brida plegada de aluminio con una ventana de observación de Ø45 mm en la brida 7. Bomba de vacío: bomba de vacío rotativa de doble etapa de conexión directa de 120 l/min 8. Vacío máximo: 50 mtorr 9. Introducción de gas: Se pueden introducir varios gases para generar plasma, como N2, Ar, H2, O2, aire y gases mixtos (seleccionados según las propiedades del material) para limpieza y grabado |
Dimensión y peso del producto | Dimensión: 400 mm × 300 mm × 300 mm ENocho:10,2 kilos
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Accesorios Opcionales | 1. 2"-6"Barco/portador de cuarzo (para sujetar el sustrato) 2. Sistema de mezcla de protones o gas flotante de 2 a 4 canales |
Garantía
Un año limitado con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
