Aplicación del recubrimiento por centrifugación en el proceso de fotolitografía de semiconductores

Desgomado: Con la recubridora rotativa por pulverización VTC-200-4P, se aplica el desgomado húmedo. El disolvente orgánico se aplica gota a gota sobre la película fotorresistente en la superficie del modelo, disolviéndola y eliminándola, dejando un modelo limpio. Los equipos de recubrimiento disponibles incluyen la recubridora rotativa al vacío VTC-100PA, la recubridora rotativa al vacío con calentamiento de la cubierta superior VTC-100PA-Ⅰ, la recubridora rotativa al vacío VTC-100, la recubridora rotativa al vacío VTC-200, la recubridora rotativa al vacío VTC-200PV, la recubridora rotativa por pulverización VTC-200-4P y la recubridora rotativa ultravioleta VTC-100PA-UV. Se pueden utilizar diferentes recubridoras rotativas según el proceso específico.

2025/06/16

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