Recubrimiento giratorio con atmósfera controlada y aspirable
La recubridora rotativa al vacío VTC-200PV es adecuada para procesos de semiconductores, cristales, discos ópticos, fabricación de placas y recubrimiento de superficies, entre otros. La cámara de la recubridora rotativa al vacío VTC-200PV se puede someter a vacío para recubrir la muestra en condiciones de vacío total, lo cual es adecuado para materiales de película que se oxidan y deterioran fácilmente en contacto con el aire. Una abrazadera fija la muestra cuando la cámara está sometida a vacío. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de ejecución.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
La recubridora rotativa al vacío VTC-200PV está diseñada para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos, litografía y aplicaciones afines. Es adecuada para preparar recubrimientos con soluciones ácidas o alcalinas fuertes.
Este sistema permite evacuar la cámara de recubrimiento, lo que permite recubrir las muestras en vacío total. Esta función es especialmente adecuada para materiales de película delgada propensos a la oxidación o degradación en el aire. Durante el vacío, las muestras se fijan mediante un portamuestras.
Cuando no se utiliza la evacuación por vacío, las muestras se mantienen en el soporte del sustrato mediante adsorción por vacío. El sistema puede almacenar hasta 12 programas, cada uno con 6 etapas secuenciales. Se pueden configurar diferentes velocidades de rotación para cada etapa, lo que permite que el recubridor acelere gradualmente hasta alcanzar su velocidad máxima. Esto garantiza la formación uniforme de una película delgada sobre la superficie de la muestra, minimizando al mismo tiempo el desperdicio de material.
Con ventajas como fácil operación, limpieza conveniente y diseño compacto, el recubridor giratorio al vacío VTC-200PV es ampliamente utilizado en laboratorios de universidades e institutos de investigación para la preparación de películas delgadas.
Características principales
1. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de funcionamiento. El rango de ajuste de la velocidad de aceleración y desaceleración para cada etapa es de 100 rpm a 2000 rpm/s, y el rango de tiempo para cada etapa es de 0 a 60 s.
2. La muestra se fija mediante adsorción al vacío y también se puede fijar mediante unión o sujeción, lo que es fácil de operar.
3. El grado de vacío puede alcanzar -0,08 MPa.
4. Las muestras se pueden centrar fácilmente utilizando la herramienta de posicionamiento para reducir la vibración o los desprendimientos causados por la desalineación.
5. Se pueden utilizar diferentes mandriles según las especificaciones de la muestra, y el reemplazo es conveniente y sencillo.
6. Se adopta un motor de CC sin escobillas de 24 V y tiene las ventajas de alta confiabilidad, fuerte adaptabilidad, reparación y mantenimiento simples, bajo nivel de ruido, pequeña vibración, funcionamiento estable, arranque rápido y estable, funcionamiento estable después de la aceleración, para garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento.
7. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite se utiliza cuando la muestra se fija mediante absorción de vacío y tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
8. El recubrimiento se puede realizar en una atmósfera de gas inerte (como Ar, N2).
9. Cuando el recubrimiento se realiza en condiciones de vacío, el sustrato de muestra se fija mediante unión o sujeción.
10. La cámara está hecha de material PP con una vida útil más larga para mejorar las capacidades de resistencia a la corrosión química y excelente resistencia al agrietamiento por tensión, y el cuerpo de la máquina adopta una estructura de aluminio fundido, que es duradera y liviana.
11. Sistema operativo inglés
12. Cuenta con la función de protección contra apertura de tapa. Al abrir la tapa superior durante el proceso de recubrimiento o al finalizarlo, la máquina desacelera rápidamente hasta detenerse.
13. El controlador adopta una caja de control con pantalla numérica LCD, que es más intuitiva y confiable.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-200PV |
Modelo de producto | VTC-200PV |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y humedad: 10-85 % HR (a 25 ℃ sin condensación) Temperatura: 0-45 ℃. 2. No hay ninguna fuente fuerte de terremotos ni gases corrosivos alrededor del equipo. 3. Agua: El equipo está equipado con una salida de aguas residuales. 4. Electricidad: Monofásica: AC220V 50Hz 10A . 5. Gas: El caudal de escape de la bomba de vacío no debe ser inferior a 70 l/min (el equipo puede pasar gas inerte protector). 6. Banco de trabajo: Se recomienda que sea de 1500 mm × 600mm×700 mm y soportar una carga de más de 100 kg (es mejor una plataforma de cemento sólido) 7. Dispositivo de ventilación: No se requieren requisitos especiales. |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Interfaz de fuente de alimentación: Toma de corriente con fusible: CA 220 V, 50 Hz; Especificación del fusible: 10 A, φ5 × 20 mm. 2. Potencia total: ≤600 W (incluida una bomba de vacío sin aceite vinculada de 450 W). 3. Cámara principal (material): Polipropileno. 4. Portasustrato (Chuck + Chuck de Vacío): Configuración estándar: 1 portasustrato tipo chuck (adaptable para muestras de 2″, 3″, 4″) y 1 chuck de vacío de polipropileno de Ø100 mm. 5. Modo de operación: almacena hasta 12 programas, cada uno con 6 etapas secuenciales. 6. Velocidad de centrifugado: 500–6000 rpm (efectiva). 7. Velocidad de aceleración/desaceleración por etapa: Rango ajustable: 100–2000 rpm/s. 8. Tiempo por etapa: Rango ajustable: 0–60 s. 9. Estabilidad de velocidad: ±1%. 10. Sistema de control: Microcontrolador PCB con operación por teclado y pantalla LCD LMC. 11. Dimensiones y peso del producto: · Unidad principal: Ø250 mm × 360 mm · Caja de control: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Peso: 25 kg 12. Equipo de apoyo: · Modelo: AP-1400C/V, alimentado a través del enchufe conectado a la unidad principal · Voltaje: CA 220 V, 50/60 Hz, 2 A, 0,45 kW · Vacío máximo: –0,0933 MPa · Velocidad de bombeo: 150 L/min · Bomba de vacío mecánica (para evacuación de la cámara de recubrimiento) · Modelo: VRD-8, alimentación mediante toma independiente · Voltaje: CA 220 V, 50 Hz, 2,5 A, 0,4 kW · Vacío máximo: 5×10⁻² Pa · Velocidad de bombeo: 8 m³/h |
SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (φ100 mm) | 1 pieza | |
2 | Placa de sujeción de 2”, 3”, 4” | 1 pieza | |
3 | Posicionador/Localizador central (incluye 4 pernos de posicionamiento) | 1 pieza | |
4 | Inyector/jeringa de epoxi | 1 pieza |
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5 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza | |
6 | Bomba de vacío de paletas rotativas de doble clic VRD-8 | 1 pieza |
ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandril de vacío de otras especificaciones | (opcional) |
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2 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) |
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3 | Pipeta (importada) | (opcional) |
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4 | Bomba mecánica VRD-16 | (opcional) |
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Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
