Recubrimiento por centrifugación (8000 rpm, oblea de 4" máx.) con 3 mandriles de vacío
La recubridora rotativa al vacío VTC-100 está equipada con tres mandriles de vacío (estándar) de diferentes tamaños, que se pueden usar según el tamaño de las muestras. Durante su funcionamiento, la recubridora rotativa al vacío VTC-100 utiliza el método de adsorción por placa de vacío para fijar la muestra en la placa. El equipo utiliza un programa de dos etapas para controlar la velocidad.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
El recubridor rotatorio al vacío VTC-100 es ideal para procesos como la fabricación de semiconductores, la fotolitografía y el recubrimiento de superficies. Gracias a su fácil manejo, limpieza práctica y diseño compacto, se utiliza principalmente en laboratorios de universidades e institutos de investigación para la preparación de películas delgadas.
El equipo adopta un método de sujeción al vacío para la fijación de muestras, lo que facilita la carga y descarga de las mismas, reduciendo los pasos operativos que antes eran complejos. Incorpora de serie tres mandriles de vacío de polipropileno (φ25 mm, φ50 mm y φ100 mm), lo que lo hace ideal para el recubrimiento de obleas de silicio y otros materiales de diferentes tamaños.
El sistema de alimentación interno separa la sección del motor de la sección de control, cada una con una fuente de alimentación independiente. El sistema de control de velocidad utiliza un microcontrolador altamente resistente a interferencias, lo que garantiza una rotación estable en el rango de 1000 a 8000 rpm. El recubridor giratorio arranca rápidamente y mantiene una velocidad estable, asegurando la uniformidad y consistencia del espesor de la película. Además, se han aplicado medidas de amortiguación de vibraciones en la estructura de la instalación, lo que aumenta la estabilidad del equipo durante su funcionamiento y reduce el ruido.
Características principales
1. La velocidad se controla mediante un programa de dos etapas: el pegamento se inyecta en la primera etapa de baja velocidad y el pegamento se nivela en la segunda etapa de alta velocidad.
2. La muestra se fija mediante adsorción al vacío, lo que es fácil de operar y conveniente para tomar y colocar la muestra.
3. Estructura de aluminio fundido, funcionamiento estable y bajo nivel de ruido.
4. Las fuentes de alimentación para el motor y para el controlador se suministran de forma independiente.
5. La regulación de velocidad está controlada por una computadora de un solo chip con alta antiinterferencia y la velocidad es muy estable dentro del rango de 1000 a 8000 rpm.
6. Pantalla digital LED, con función de visualización de cuenta regresiva de recubrimiento giratorio
7. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-100 | |
Modelo de producto | VTC-100 | |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y humedad: 10-85 % HR (a 25 ℃ sin condensación) Temperatura: 0-45 ℃. 2. No hay ninguna fuente fuerte de vibración ni gas corrosivo alrededor del equipo. 3. No se requiere agua 4. Electricidad: Monofásica: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: El caudal de escape de presión negativa de vacío (bomba de vacío) no es inferior a 70 L/min. 6. Banco de trabajo: 800 mm × 600mm×Se recomienda un peso de soporte de 700 mm superior a 100 kg (es mejor una plataforma de cemento sólido). 7. Dispositivo de ventilación: no se requieren requisitos especiales. | |
Los parámetros principales | 1. Interfaz de fuente de alimentación: Toma de corriente con seguro: CA 220/110 V 50/60 Hz, especificación del tubo de seguro: 10 A, φ5 × 20 mm 2. Potencia total: ≤150W 3. Bandeja de muestra (ventosa): Ventosa de vacío de polipropileno Φ25 mm φ50 mm φ100 mm, una de cada 4. Modo de funcionamiento: Rotación en sentido antihorario, con dos etapas de funcionamiento. 5. Velocidad de recubrimiento: Velocidad SPD1: 500-8000 rpm efectivas Velocidad SPD2: 500-8000 rpm efectivas 6. Tiempo de recubrimiento: Tiempo T1: 1--600 s efectivo Tiempo T2: 1--600 s efectivos 7. Estabilidad de velocidad: ±1% 8. Modo de control: Microordenador de un solo chip PCB, control de botón, pantalla de tubo digital | |
9. Especificaciones del producto: · Dimensiones: 380 mm × 260 mm × 330 mm · peso: 12 kg |
| |
SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (PÁGINAS,Ø25 mm,Ø50mm,Ø100 mm) | 1 pieza cada una | |
2 | Inyector/Jeringa | 1 pieza | |
3 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza | ![]() |
ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandril de vacío especial (PTFE, aleación de aluminio) | (opcional) | - |
2 | Mandril de tamaño micro | (opcional) | |
3 | Filtro (para bomba de vacío) | (opcional) | - |
4 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) | |
5 | Pipeta (importada) | (opcional) | |
6 | Placa de sujeción de muestra | (opcional) |
|
Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística







