Recubrimiento giratorio de alta velocidad (10 000 rpm y 5" máx.)
El recubridor giratorio al vacío VTC-100PA es adecuado para procesos de semiconductores, cristales, discos ópticos, fabricación de placas y recubrimiento de superficies, entre otros. Puede utilizarse para soluciones de recubrimiento con ácidos y álcalis fuertes. El equipo cuenta con dos mandriles de vacío de diferentes tamaños (para el estándar) adaptados al tamaño de la muestra. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de ejecución.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
La recubridora rotativa al vacío VTC-100PA está diseñada para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos y fotolitografía. También es adecuada para la preparación de películas con soluciones de recubrimiento ácidas o alcalinas fuertes.
La unidad incluye de serie dos mandriles de vacío de diferentes tamaños, lo que permite a los usuarios seleccionar el mandril adecuado según las dimensiones de la muestra. Durante el funcionamiento, el VTC-100PA fija la muestra al mandril mediante succión de vacío. El dispositivo puede almacenar hasta 12 programas, cada uno con 6 etapas de funcionamiento. Las diferentes etapas corresponden a diferentes velocidades de centrifugado, lo que permite que el recubridor aumente gradualmente hasta alcanzar la velocidad máxima. Esto garantiza una formación uniforme de la película sobre la superficie de la muestra, a la vez que reduce el desperdicio de material y mejora la eficiencia.
Con características como fácil operación, limpieza conveniente y tamaño compacto, el recubridor giratorio al vacío VTC-100PA se usa ampliamente en laboratorios de universidades, institutos de investigación e instalaciones de I+D para la fabricación de películas delgadas.
Características principales
1. La muestra se fija mediante adsorción al vacío, que es fácil de operar.
2. El grado de vacío puede alcanzar -0,08 MPa.
3. Las muestras se pueden centrar fácilmente utilizando la herramienta de posicionamiento para reducir la vibración o los desprendimientos causados por la desalineación.
4. Se pueden utilizar diferentes mandriles según las especificaciones de la muestra, y el reemplazo es conveniente y sencillo.
5. Se adopta un motor de CC sin escobillas de 24 V que ofrece ventajas como alta confiabilidad, gran adaptabilidad, reparación y mantenimiento sencillos, bajo nivel de ruido, baja vibración, funcionamiento estable, arranque rápido y estable, funcionamiento estable después de la aceleración, para garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento.
6. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
7. La cámara está hecha de material PP con una vida útil más larga para mejorar las capacidades de resistencia a la corrosión química y excelente resistencia al agrietamiento por tensión, y el cuerpo de la máquina adopta una estructura de aluminio fundido, que es duradera y liviana.
8. El recubrimiento se puede realizar en una atmósfera de gas inerte (como Ar, N2).
9. Sistema operativo inglés
10. Cuenta con la función de protección contra apertura de tapa. Al abrir la tapa superior durante el proceso de recubrimiento o al finalizarlo, la máquina desacelera rápidamente hasta detenerse.
11. La interfaz de control adopta una pantalla táctil más un sistema de control de computadora de placa única, y la pantalla numérica es más intuitiva y confiable.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-100PA | |
Modelo de producto | VTC-100PA | |
Condiciones de instalación | Este equipo debe utilizarse a una altitud de 1000 m o menos, una temperatura de 25 °C ± 15 °C y una humedad relativa del 55 % ± 10 %. 1. Agua: equipada con entrada y salida de agua. 2. Electricidad: CA 220 V 50 Hz, debe tener una buena conexión a tierra. 3. gas: N/A 4. Banco de trabajo: tamaño 600 mm × 600 mm × 700 mm, soporta más de 50 kg (se prefiere una mesa de cemento sólido). 5. Dispositivo de ventilación: No se requieren requisitos especiales. | |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Interfaz de fuente de alimentación: CA 220 V, 50 Hz, 10 A 2. Potencia total: ≤150 W (sin bomba de vacío externa) 3. Cámara de recubrimiento (material): Polipropileno 4. Portamuestras (mandril de vacío): Mandriles de polipropileno, Φ19 mm y Φ60 mm, uno de cada uno 5. Modo de funcionamiento: Hasta 12 programas almacenables; cada programa incluye 6 etapas de funcionamiento. 6. Velocidad de centrifugado: 500 rpm – 10.000 rpm efectivas 7. Velocidad de aceleración/desaceleración: Rango ajustable por etapa: 100 rpm – 2000 rpm 8. Tiempo de recubrimiento: Rango de tiempo por etapa: 0–60 s 9. Estabilidad de velocidad: ±1% 10. Modo de control: microcontrolador PCB, control de teclado, pantalla LCD LMC 11. Método de calentamiento: No disponible | |
Dimensiones y peso del producto | 12. Especificaciones del producto: · Dimensiones: 450 mm × 280 mm × 340 mm · Peso: 18 kg |
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SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (incluida junta tórica) (Ø19 mm yØ60mm) | 2 piezas |
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2 | Posicionador/Localizador central (incluye 4 pernos de posicionamiento) | 1 pieza | |
3 | Inyector/jeringa de epoxi (20 ml) | 1 pieza |
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4 | Soporte de inyector/jeringa | 1 pieza | |
5 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza |
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6 | Tubo de goma (incluida abrazadera) | 1 pieza |
ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandriles de vacío de otras especificaciones | (opcional) |  |
2 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) |  |
3 | Pipeta (importada) | (opcional) |  |
Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
