Máquina de pulverización catódica de plasma con magnetrón de CC de pequeña escala

1. Potencia de entrada del pequeño instrumento de pulverización catódica de plasma con magnetrón: 220 V CA 50/60 Hz

2. Potencia de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de CC de laboratorio: <1000 W

3. Voltaje de salida del recubridor de pulverización catódica con magnetrón de CC de laboratorio: 500 V CC

4. Corriente de pulverización: 0-80 mA, ajustable

5. Tiempo de pulverización: 0-120 s, ajustable

1. Dimensiones de la cámara de cuarzo: diámetro exterior 166 mm x diámetro interior 150 mm x altura 150 mm

2. Sello: Junta tórica de caucho fluorado

3. Se instala un obturador manual en la tapa de la brida para la prepulverización del objetivo. Un racor de compresión de 6,35 mm de diámetro sirve como puerto de entrada de aire para conectar el tubo de entrada. Una válvula de purga manual llena la cámara de cuarzo con aire.

4. Una malla de acero inoxidable cubre toda la cámara de cuarzo para proteger el plasma.

5. El flujo de gas de trabajo en la cámara se controla ajustando la válvula de control de microprecisión en el lado derecho de la carcasa, ajustando así el nivel de vacío dentro de la cámara.

6. La corriente de pulverización se controla ajustando el potenciómetro en el lado derecho de la carcasa.

1. Cabezal de pulverización catódica de magnetrón de 2 pulgadas sin refrigeración por agua. La temperatura máxima de funcionamiento es de 80 °C. Por encima de 80 °C, perderá su magnetismo y quedará inoperativo.

2. Tiempo de pulverización: ajustable de 1 a 120 segundos

3. Objetivo de cobre estándar incluido.

4. Requisito de tamaño objetivo: φ2" x (0,5-5) mm de espesor

5. Adecuado para la pulverización catódica de Au, Ag, Cu y otros metales (disponibles para su compra en nuestra empresa).

1. Una platina de muestra con altura ajustable, con una distancia ajustable entre la platina de muestra y el objetivo de 25-70 mm.

2. Tamaño de la etapa de muestra: φ2"

3. Calentamiento de muestra opcional, con una temperatura máxima de calentamiento de 500°C.

1. Rango de medición: 1 × 10-4 mbar a 1000 mbar (1 × 10-4 a 750 torr)

2. Precisión: 1000 mbar a 20 mbar (30 % de la lectura)

20 a 0,002 mbar (2 % de la lectura)

3. Repetibilidad: 20 a 0,002 mbar (0,000 a 0,002 mbar) 2%)

4. Humedad de funcionamiento: ≤80% a 30°C, ≤50% a 40°C, sin condensación;

5. Temperatura de funcionamiento: 5 °C-60 °C

1. En el instrumento se instala un medidor de espesor de película vibratorio de cuarzo de precisión, que permite el monitoreo en tiempo real del espesor de la película con una resolución de 0,10 Å.

2. La pantalla LED permite visualizar e ingresar datos de espesor de película.

1. Modelo: VRD-8

2. Caudal de bombeo: 2,2 L/s

3. Potencia del motor: 370 W

4. Presión máxima: 5 × 10-1 Pa (sin carga)

5. Presión real: ≤ 5 Pa (bombeo mecánico durante 20 minutos en condiciones de frío)

6. Para niveles de vacío más altos (10-5 toneladas o más), se encuentran disponibles unidades de alto vacío nacionales o importadas.

Dimensiones: 500 mm × 350 mm × 550 mm (largo × ancho × alto)

Peso: aproximadamente 20 kg (sin incluir la bomba de vacío ni el equipo de refrigeración por agua)

1. Se requieren múltiples ciclos de pulverización catódica para lograr el espesor de película deseado.

2. Antes de pulverizar, asegúrese de que el cabezal de pulverización, el objetivo, el sustrato y la platina de muestra estén limpios.

3. Para garantizar una buena adhesión entre la película y el sustrato, limpie la superficie del sustrato antes de pulverizar.

Garantía de un año y soporte técnico de por vida.

Notas especiales:

1. Los consumibles como elementos calefactores, tubos de cuarzo y crisoles de muestra no están cubiertos por la garantía.

2. Los daños causados por el uso de gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía.

· La presión dentro de la cámara no debe superar los 0,02 MPa (presión relativa).

Debido a que la presión interna del cilindro de gas es relativamente alta, se debe instalar una válvula reductora de presión al introducir gas en el tubo de cuarzo. Para garantizar la seguridad, recomendamos operar con una presión inferior a 0,02 MPa. Para mayor precisión y seguridad, recomendamos adquirir una válvula reductora de presión de nuestra empresa, con un rango de 0,01 MPa a 0,1 MPa.

No recomendamos el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos. Si su proceso requiere el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos, implemente las medidas de protección y a prueba de explosiones adecuadas. Nuestra empresa no se responsabiliza de ningún problema causado por el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos.