Máquina de pulverización catódica por plasma magnetrón de CC pequeña

1. Alimentación eléctrica del pequeño instrumento de pulverización catódica por plasma magnetrón: 220 V CA 50/60 Hz

2. Potencia de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de CC de laboratorio: <1000 W

3. Tensión de salida de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de CC de laboratorio: 500 V CC

4. Corriente de pulverización catódica: 0-80 mA, ajustable

5. Tiempo de pulverización catódica: 0-120 s, ajustable

1. Dimensiones de la cámara de cuarzo: diámetro exterior 166 mm × diámetro interior 150 mm×Altura 150 mm

2. Junta: Junta tórica de caucho fluorado

3. Se ha instalado una persiana de accionamiento manual en la tapa de la brida para el pre-pulverizado del objetivo. Un racor de compresión de 6,35 mm de diámetro sirve como puerto de entrada de aire para conectar el tubo de entrada de aire. Se utiliza una válvula de purga de aire manual para llenar la cámara de cuarzo con aire.

4. Una malla de acero inoxidable cubre toda la cámara de cuarzo para proteger el plasma.

5. El flujo de gas de trabajo hacia la cámara se controla ajustando la válvula de control de microprecisión situada en el lado derecho de la carcasa, ajustando así el nivel de vacío dentro de la cámara.

6. La corriente de pulverización se controla ajustando el potenciómetro situado en el lado derecho de la carcasa.

1. Cabezal de pulverización magnetrónica de 2 pulgadas sin refrigeración por agua. La temperatura máxima de funcionamiento del cabezal es de 80 °C. Por encima de esta temperatura, el cabezal pierde su magnetismo y queda inoperable.

2. Tiempo de pulverización: Ajustable de 1 a 120 segundos

3. Objetivo de cobre estándar incluido

4. Requisito de tamaño objetivo: φ2" x (0,5-5) mm de espesor

5. Adecuado para pulverizar Au, Ag, Cu y otros metales (disponibles para su compra en nuestra empresa).

1. Una plataforma de muestra con altura ajustable, con una distancia ajustable entre la plataforma de muestra y el objetivo de 25-70 mm.

2. Tamaño de la etapa de muestra: φ2"

3. Calentamiento opcional de la etapa de muestra, con una temperatura máxima de calentamiento de 500 °C.

1. Rango de medición: 1 × 10-4 mbar a 1000 mbar (1 × 10-4 a 750 torr)

2. Precisión: de 1000 mbar a 20 mbar (30% de la lectura)

20 a 0,002 mbar (2% de la lectura)

3. Repetibilidad: 20 a 0,002 mbar (0,000 a 0,002 mbar) 2%)

4. Humedad de funcionamiento: ≤80% a 30°C, ≤50% a 40°C, sin condensación;

5. Temperatura de funcionamiento: 5°C-60°C

1. En el instrumento se ha instalado un medidor de espesor de película vibratorio de cuarzo de precisión, que permite la monitorización en tiempo real del espesor de la película con una resolución de 0,10 Å.

2. La pantalla LED permite tanto la visualización como la entrada de datos de espesor de la película.

1. Modelo: VRD-8

2. Caudal de bombeo: 2,2 L/s

3. Potencia del motor: 370 W

4. Presión máxima: 5 × 10^-1Pa (descargado)

5. Presión real: ≤ 5 Pa (bombeo mecánico durante 20 minutos en condiciones de frío)

6. Para niveles de vacío más altos (10^-5toneladas o más), se encuentran disponibles unidades de alto vacío nacionales o importadas.

Dimensiones: 500 mm × 350 mm × 550 mm (L × A × H)

Peso: Aproximadamente 20 kg (sin incluir la bomba de vacío ni el equipo de refrigeración por agua).

1. Se requieren múltiples ciclos de pulverización catódica para lograr el espesor de película deseado.

2. Antes de pulverizar, asegúrese de que el cabezal de pulverización, el objetivo, el sustrato y la plataforma de la muestra estén limpios.

3. Para asegurar una buena adhesión entre la película y el sustrato, limpie la superficie del sustrato antes de la pulverización catódica.

Un año de garantía y soporte técnico de por vida.

Notas especiales:

1. Los consumibles como elementos calefactores, tubos de cuarzo y crisoles de muestra no están cubiertos por la garantía.

2. Los daños causados ​​por el uso de gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía.

• La presión dentro de la cámara no debe exceder los 0,02 MPa (presión relativa).

Debido a la elevada presión interna de la bombona de gas, es necesario instalar una válvula reductora de presión al introducir el gas en el tubo de cuarzo. Para mayor seguridad, recomendamos operar a una presión inferior a 0,02 MPa. Para una mayor precisión y seguridad, recomendamos adquirir una válvula reductora de presión de nuestra empresa, con un rango de 0,01 MPa a 0,1 MPa.

No recomendamos el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos. Si su proceso requiere el uso de estos gases, implemente las medidas de protección y a prueba de explosiones adecuadas. Nuestra empresa no se responsabiliza de los problemas causados ​​por su uso.