Máquina de pulverización catódica de plasma de 3 objetivos

1. Potencia de entrada del recubridor de plasma por pulverización catódica de 3 objetivos rotatorios: CA 220 V 50/60 Hz

2. Corriente de pulverización catódica del recubridor de plasma de 3 objetivos rotatorios: 0-40 mA, ajustable

3. Potencia: <1kW

4. Voltaje de salida: Máximo 1680 V CC

1. Material: Cámara de cuarzo

2. Dimensiones: diámetro exterior 166 mm × diámetro interior 150 mm × 150 mm

3. Sellado: junta tórica

4. Se instala un deflector manual en la tapa de la brida para la prepulverización del objetivo. Un racor de compresión de φ 6,35 mm sirve como puerto de entrada de aire para la conexión a la tubería de entrada. Se utiliza una válvula de purga manual para inyectar aire en la cámara de cuarzo.

5. Una cubierta de malla de acero inoxidable cubre toda la cámara de cuarzo para proteger el plasma.

6. El caudal del gas de trabajo que ingresa a la cámara de cuarzo se controla ajustando la válvula de control de microprecisión en el lado derecho de la carcasa, ajustando así el nivel de vacío dentro de la cámara.

7. La corriente de pulverización se controla ajustando el potenciómetro en el lado derecho de la carcasa.

1. Tres objetivos de cobre son estándar.

2. Dimensiones del objetivo: φ47 x (0,1-3) mm de espesor.

3. Nuestra empresa ofrece otros objetivos metálicos a la venta. Para más detalles, póngase en contacto con nuestro departamento de ventas.

4. Se instala un deflector operado manualmente para pulverizar previamente el objetivo.

1. Una platina de muestra giratoria de 50 mm con tornillos en la columna de soporte de la platina de muestra para ajustar la altura de la platina de muestra.

2. Ángulo de rotación de la etapa de muestra: 0/120/240 grados.

3. La distancia entre el objetivo y la platina de muestra es ajustable de 20 a 70 mm.

4. La platina de muestra se puede calentar opcionalmente, con una temperatura máxima de 500°C.

Un panel de control con pantalla táctil integrado PLC de 1,4" controla el vacío, la corriente y el tiempo de pulverización de la muestra.

2. Una función de registro de datos registra parámetros del proceso como el vacío, la corriente y el tiempo de pulverización catódica para cada ejecución de pulverización catódica, lo que facilita a los clientes el acceso a los datos.

1. Modelo: VRD-8

2. Caudal de bombeo: 2,2 L/s

3. Potencia del motor: 370 W

4. Presión máxima: 5 × 10-1 Pa (sin carga).

5. Presión real: ≤ 5 Pa (20 minutos de bombeo mecánico en condiciones de frío).

6. Si desea obtener un mayor grado de vacío (10-5 o mejor), puede optar por comprar unidades de alto vacío nacionales o importadas.

Dimensiones: 460 mm × 400 mm × 500 mm (largo × ancho × alto)

Peso: aproximadamente 20 kg

1. Se requieren múltiples ciclos de pulverización catódica para lograr el espesor de película deseado.

2. Antes de pulverizar, asegúrese de que el cabezal de pulverización, el objetivo, la muestra y la platina de muestra estén limpios.

3. Para garantizar una buena adhesión entre la película y el sustrato, limpie la superficie del sustrato antes de pulverizar. Puede utilizar nuestro equipo de limpieza para este fin.

4. Este equipo se puede utilizar para realizar pulverización catódica en una caja de guantes (atmósfera de Ar o N2).

1. La presión de la cámara no debe superar los 0,02 MPa (presión relativa).

2. Debido a la alta presión dentro del cilindro de gas, se debe instalar una válvula reductora de presión al introducir gas en el tubo de cuarzo. Para garantizar la seguridad, recomendamos operar a una presión inferior a 0,02 MPa. Recomendamos adquirir una válvula reductora de presión de nuestra empresa, con un rango de 0,01 MPa a 0,1 MPa, para mayor precisión y seguridad.

3. No recomendamos el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos. Si su proceso requiere el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos, implemente las medidas de protección y a prueba de explosiones adecuadas. Nuestra empresa no se responsabiliza de los problemas derivados del uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos.