Máquina de pulverización de plasma de 3 objetivos

1. Alimentación eléctrica del recubridor por pulverización catódica de plasma de 3 objetivos rotatorios: CA 220 V 50/60 Hz

2. Corriente de pulverización catódica del recubridor de plasma con 3 objetivos rotatorios: 0-40 mA, ajustable

3. Potencia: <1kW

4. Tensión de salida: Máximo 1680 V CC

1. Material: Cámara de cuarzo

2. Dimensiones: Diámetro exterior 166 mm × Diámetro interior 150 mm × 150 mm

3. Sellado: Junta tórica

4. Se ha instalado un deflector de accionamiento manual en la tapa de la brida para la pulverización previa del objetivo. Un racor de compresión de φ 6,35 mm sirve como puerto de entrada de aire para la conexión al tubo de entrada. Se utiliza una válvula de purga de aire manual para inyectar aire en la cámara de cuarzo.

5. Una cubierta de malla de acero inoxidable cubre toda la cámara de cuarzo para proteger el plasma.

6. El caudal del gas de trabajo que entra en la cámara de cuarzo se controla ajustando la válvula de control de microprecisión situada en el lado derecho de la carcasa, ajustando así el nivel de vacío dentro de la cámara.

7. La corriente de pulverización se controla ajustando el potenciómetro situado en el lado derecho de la carcasa.

1. Tres objetivos de cobre son estándar.

2. Dimensiones objetivo: φ47 x (0,1-3) mm de espesor.

3. Disponemos de otros objetivos metálicos para su compra en nuestra empresa; póngase en contacto con nuestro departamento de ventas para obtener más información.

4. Se instala un deflector operado manualmente para la pulverización previa del objetivo.

1. Una plataforma de muestra giratoria de 50 mm con tornillos en la columna de soporte de la plataforma de muestra para ajustar la altura de la plataforma de muestra.

2. Ángulo de rotación de la plataforma de muestra: 0/120/240 grados.

3. La distancia entre el objetivo y la plataforma de la muestra es ajustable de 20 a 70 mm.

4. La plataforma de la muestra se puede calentar opcionalmente, con una temperatura máxima de 500 °C.

Un panel de control con pantalla táctil integrado PLC de 1,4" controla el vacío, la corriente y el tiempo de pulverización de la muestra.

2. Una función de registro de datos registra parámetros del proceso como vacío, corriente y tiempo de pulverización para cada ejecución de pulverización, lo que facilita a los clientes el acceso a los datos.

1. Modelo: VRD-8

2. Caudal de bombeo: 2,2 L/s

3. Potencia del motor: 370 W

4. Presión máxima: 5 × 10-1 Pa (sin carga).

5. Presión real: ≤ 5 Pa (20 minutos de bombeo mecánico en condiciones frías).

6. Si desea obtener un grado de vacío más alto (10-5 toor o mejor), puede optar por comprar unidades de alto vacío nacionales o importadas.

Dimensiones: 460 mm × 400 mm × 500 mm (largo × ancho × alto)

Peso: Aproximadamente 20 kg

1. Se requieren múltiples ciclos de pulverización catódica para lograr el espesor de película deseado.

2. Antes de pulverizar, asegúrese de que el cabezal de pulverización, el objetivo, la muestra y la plataforma de la muestra estén limpios.

3. Para asegurar una buena adhesión entre la película y el sustrato, limpie la superficie del sustrato antes de la pulverización catódica. Nuestro equipo de limpieza puede utilizarse para este fin.

4. Este equipo se puede utilizar para pulverización catódica en una caja de guantes (atmósfera de Ar o N2).

1. La presión de la cámara no debe exceder los 0,02 MPa (presión relativa).

2. Debido a la alta presión dentro del cilindro de gas, es necesario instalar una válvula reductora de presión al introducir el gas en el tubo de cuarzo. Para garantizar la seguridad, recomendamos operar a una presión inferior a 0,02 MPa. Recomendamos adquirir una válvula reductora de presión de nuestra empresa, con un rango de 0,01 MPa a 0,1 MPa, para mayor precisión y seguridad.

3. No recomendamos el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos. Si su proceso requiere el uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos, implemente las medidas de protección y a prueba de explosiones adecuadas. Nuestra empresa no se responsabiliza de los problemas derivados del uso de gases inflamables, explosivos o tóxicos.