Recubrimiento giratorio de alta velocidad con cubierta calefactora de 200 ºC
El recubridor giratorio al vacío VTC-100PA-II es adecuado para procesos de semiconductores, cristales, discos ópticos, fabricación de placas y recubrimiento de superficies, entre otros. Puede utilizarse para soluciones de recubrimiento con ácidos y álcalis fuertes. El equipo cuenta con dos mandriles de vacío de diferentes tamaños (para el estándar) que se adaptan al tamaño de la muestra. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de ejecución.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
La recubridora rotativa al vacío calentada VTC-100PA-II está diseñada para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos, fotolitografía y aplicaciones afines. Es capaz de preparar recubrimientos utilizando soluciones ácidas y alcalinas fuertes.
El sistema está equipado con dos mandriles de vacío de diferentes tamaños, lo que permite a los usuarios seleccionar el mandril adecuado según las dimensiones de la muestra. Durante el funcionamiento, la muestra se fija firmemente al soporte mediante succión de vacío. El recubridor admite hasta 12 recetas programables, cada una con 6 etapas secuenciales. En cada etapa, la velocidad de centrifugado se puede ajustar de forma independiente, lo que permite que el sistema acelere gradualmente hasta alcanzar la velocidad máxima. Esto garantiza la formación uniforme de una película delgada en toda la superficie de la muestra, minimizando el desperdicio de material y mejorando la eficiencia.
El recubridor giratorio al vacío calentado VTC-100PA-II presenta un funcionamiento fácil de usar, una limpieza sencilla y un diseño compacto, lo que lo convierte en la opción ideal para laboratorios en universidades e institutos de investigación dedicados a la preparación de películas delgadas.
Características principales
1. La muestra se fija mediante adsorción al vacío, que es fácil de operar.
2. El grado de vacío puede alcanzar -0,08 MPa.
3. Las muestras se pueden centrar fácilmente utilizando la herramienta de posicionamiento para reducir la vibración o los desprendimientos causados por la desalineación.
4. Se pueden utilizar diferentes mandriles según las especificaciones de la muestra, y el reemplazo es conveniente y sencillo.
5. Se adopta un motor de CC sin escobillas de 24 V y tiene las ventajas de alta confiabilidad, fuerte adaptabilidad, reparación y mantenimiento simples, bajo nivel de ruido, pequeña vibración, funcionamiento estable, arranque rápido y estable, funcionamiento estable después de la aceleración, para garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento.
6. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
7. La cámara está hecha de material de polipropileno con una vida útil más larga para mejorar las capacidades de resistencia a la corrosión química y excelente resistencia al agrietamiento por tensión, y el cuerpo de la máquina adopta una estructura de aluminio fundido, que es duradera y liviana.
8. El recubrimiento se puede realizar en una atmósfera de gas inerte (como Ar, N2).
9. Sistema operativo inglés
10. Cuenta con la función de protección contra apertura de tapa. Al abrir la tapa superior durante el proceso de recubrimiento o al finalizarlo, la máquina desacelera rápidamente hasta detenerse.
11. La interfaz de control adopta una pantalla táctil más un sistema de control de computadora de placa única, y la pantalla numérica es más intuitiva y confiable.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-100PA-II con función de calentamiento | |
Modelo de producto | VTC-100PA-II | |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y humedad: 10–85 % HR (a 25 °C, sin condensación); temperatura de funcionamiento: 0–45 °C. 2. Ambiente: Libre de fuertes fuentes de vibración y gases corrosivos. 3. Abastecimiento de agua: Equipado con salida de aguas residuales. 4. Fuente de alimentación: monofásica CA 220 V, 50 Hz, 10 A. 5. Suministro de gas: Presión negativa de vacío (bomba de vacío) con una velocidad de bombeo ≥70 L/min. El sistema también puede purgarse con gases inertes protectores como Ar o N₂. 6. Banco de trabajo: Tamaño recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, con capacidad de carga ≥50 kg (preferiblemente banco de cemento sólido). 7. Ventilación: No se requieren requisitos especiales. | |
Parámetros principales (especificación) | 1. Interfaz de alimentación: Unidad principal: CA 220 V, 50 Hz, 10 A; Calefacción: CA 220 V, 50 Hz, 10 A 2. Potencia total: ≤1150 W (sin bomba de vacío externa) 3. Cámara de recubrimiento (material): PTFE 4. Portamuestras (mandril de vacío): Mandriles de PTFE de Φ19 mm y Φ60 mm, uno de cada uno 5. Modo de funcionamiento: Hasta 12 programas almacenables; cada programa contiene 6 etapas de funcionamiento. 6. Velocidad de centrifugado: 500 rpm – 10 000 rpm (efectivas) 7. Velocidad de aceleración/desaceleración: Rango ajustable por etapa: 100 rpm – 2000 rpm 8. Tiempo de centrifugado: Rango ajustable por etapa: 0 – 60 s 9. Estabilidad de velocidad: ±1% 10. Sistema de control: microcontrolador PCB, control de teclado, pantalla LCD LMC 11. Método de calentamiento: Tubo de calentamiento de fibra de carbono con sistema de control de temperatura independiente, no vinculado al control de la unidad principal. 12. Temperatura de calentamiento: Temperatura ambiente – 200℃ 13. Potencia de calentamiento: CA 220 V 1000 W 14. Precisión del control de temperatura: ±2℃ | |
15. Especificaciones del producto: · Dimensiones: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Peso: 20 kg |
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SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (incluida junta tórica) (Ø19 mm yØ60mm) | 2 piezas | |
2 | Posicionador/Localizador central (incluye 4 pernos de posicionamiento) | 1 pieza |
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3 | Inyector/jeringa de epoxi (20 ml) | 1 pieza | |
4 | Soporte de inyector/jeringa | 1 pieza | - |
5 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza | |
6 | Tubo de goma (incluida abrazadera) | 1 pieza | - |
ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandriles de vacío de otras especificaciones | (opcional) | |
2 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) | |
3 | Pipeta (importada) | (opcional) |
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Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
