Recubrimiento giratorio anticorrosión (6000 RPM y oblea de 6" máx.)
El recubridor rotatorio al vacío VTC-200P es adecuado para procesos de semiconductores, cristales, discos ópticos, fabricación de placas y recubrimiento de superficies, entre otros. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de ejecución. La tapa superior de la cámara puede calentar la muestra (función opcional), lo cual resulta beneficioso para el recubrimiento de materiales de película delgada con alta viscosidad.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
La recubridora rotativa al vacío VTC-200P está diseñada para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos, litografía y aplicaciones afines. Es adecuada para la preparación de recubrimientos con soluciones ácidas o alcalinas fuertes.
La cámara en sí no se puede evacuar; durante el funcionamiento, la muestra se fija al soporte del sustrato mediante adsorción por vacío. El sistema puede almacenar hasta 12 programas, cada uno con 6 etapas secuenciales. Se pueden configurar diferentes velocidades de rotación para cada etapa, lo que permite que el recubridor acelere gradualmente hasta alcanzar su velocidad máxima. Esto garantiza la formación uniforme de una película fina sobre la superficie de la muestra, minimizando al mismo tiempo el desperdicio de material.
La tapa superior de la cámara puede equiparse opcionalmente con una función de calentamiento, que facilita el recubrimiento de materiales de película altamente viscosos.
Con ventajas como fácil operación, limpieza conveniente y diseño compacto, el recubridor giratorio al vacío VTC-200P es ampliamente utilizado en laboratorios de universidades e institutos de investigación para la preparación de películas delgadas.
Características principales
1. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de funcionamiento. El rango de ajuste de la velocidad de aceleración y desaceleración para cada etapa es de 100 rpm a 2000 rpm/s, y el rango de tiempo para cada etapa es de 0 a 60 s.
2. La muestra se fija mediante adsorción al vacío, que es fácil de operar.
3. El grado de vacío puede alcanzar -0,08 MPa.
4. Las muestras se pueden centrar fácilmente utilizando la herramienta de posicionamiento para reducir la vibración o los desprendimientos causados por la desalineación.
5. Se pueden utilizar diferentes mandriles según las especificaciones de la muestra, y el reemplazo es conveniente y sencillo.
6. Se adopta un motor de CC sin escobillas de 24 V y tiene las ventajas de alta confiabilidad, fuerte adaptabilidad, reparación y mantenimiento simples, bajo nivel de ruido, pequeña vibración, funcionamiento estable, arranque rápido y estable, funcionamiento estable después de la aceleración, para garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento.
7. Esta máquina se puede utilizar en una guantera, pero la parte de control y la bomba de vacío deben colocarse fuera de la caja.
8. El recubrimiento se puede realizar en una atmósfera de gas inerte (como Ar, N2).
9. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
10. La cámara está hecha de material PP con una vida útil más larga para mejorar las capacidades de resistencia a la corrosión química y excelente resistencia al agrietamiento por tensión, y el cuerpo de la máquina adopta una estructura de aluminio fundido, que es duradera y liviana.
11. Sistema operativo inglés
12. Cuenta con la función de protección contra apertura de tapa. Al abrir la tapa superior durante el proceso de recubrimiento o al finalizarlo, la máquina desacelera rápidamente hasta detenerse.
13. El controlador adopta una única caja de control con pantalla numérica LCD, que es más intuitiva y confiable.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-200P | |
Modelo de producto | VTC-200P | |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y humedad: 10–85 % HR (a 25 ℃, sin condensación); Temperatura: 0–45 ℃. 2. Entorno: No haya fuentes de vibración fuerte ni gases corrosivos cerca del equipo. 3. Agua: El equipo está equipado con una salida de drenaje. 4. Fuente de alimentación: monofásica CA 220 V, 50 Hz 10 A. 5. Suministro de aire: Presión negativa de vacío (bomba de vacío) con una velocidad de bombeo ≥ 70 L/min. El sistema también puede conectarse a gas inerte protector. 6. Mesa de trabajo: Tamaño recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacidad de carga ≥ 100 kg (se prefiere una mesa de hormigón sólido). 7. Ventilación: No se requieren requisitos especiales. | |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Interfaz de fuente de alimentación: Toma de corriente con fusible: CA 220 V, 50 Hz; Especificación del fusible: 10 A, φ5 × 20 mm (personalización CA 110 V 50/60 Hz disponible). 2. Potencia total: ≤150W (excluyendo bomba de vacío externa). 3. Cámara principal (material): Polipropileno. 4. Soporte de sustrato (mandril de vacío): mandril de vacío de polipropileno de Ø100 mm ×1 (fabricado en PTFE cuando está equipado con función de calentamiento). 5. Modo de operación: Capaz de almacenar 12 programas, cada uno con 6 etapas secuenciales. 6. Velocidad de centrifugado: 500 rpm – 6000 rpm. 7. Velocidad de aceleración/desaceleración: Rango ajustable por etapa: 100 rpm – 2000 rpm. 8. Tiempo de recubrimiento: Rango ajustable por etapa: 0 – 60 s. 9. Estabilidad de velocidad: ±1%. 10. Sistema de control: Microcontrolador PCB con operación por teclado y pantalla LCD LMC. 11. Método de calentamiento: No incluido en la configuración estándar (función de calentamiento opcional disponible, con un sistema de control de temperatura independiente, no integrado con el controlador principal). 12. Temperatura de calentamiento: rango de temperatura personalizable, RT – 100 ℃ (límite superior). 13. Potencia de calentamiento: AC220V, 1000W. 14. Precisión del control de temperatura: ±2℃. | |
15. Especificaciones del producto: · Dimensión: · Unidad principal:φ250 mm × 360 mm · Caja de control: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Peso: 15 kg |
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SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (φ100 mm) | 1 pieza | |
2 | Junta tórica | 1 pieza | - |
3 | Posicionador/Localizador central (incluye 4 pernos de posicionamiento) | 1 pieza |
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4 | Inyector/jeringa de epoxi (20 ml) | 1 pieza |
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5 | Soporte de inyector/jeringa | 1 pieza | - |
6 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza |
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ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandril de vacío de otras especificaciones | (opcional) | |
2 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) | |
3 | Pipeta (importada) | (opcional) |
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Garantía
· Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
