Recubrimiento por evaporación térmica al vacío con cuatro fuentes de calor
El recubridor por evaporación GSL-1800X-ZF4 es un recubridor por evaporación de alto vacío, especialmente indicado para la evaporación y el recubrimiento de películas metálicas sensibles al oxígeno (como Ti, Al, Au, etc.) y compuestos orgánicos de pequeño tamaño. La máquina está equipada con cuatro naves de calentamiento por evaporación, cada una de las cuales puede realizar la evaporación de forma independiente.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
El recubridor por evaporación GSL-1800X-ZF4 es un sistema de recubrimiento por evaporación de alto vacío especialmente diseñado para depositar películas metálicas sensibles al oxígeno (como Ti, Al y Au) y materiales orgánicos de moléculas pequeñas. El sistema está equipado con cuatro naves de evaporación con calefacción independientes, cada una capaz de operar por separado. Un escudo giratorio sobre las naves protege a las otras tres durante la evaporación, previniendo eficazmente la contaminación cruzada entre materiales. Con ajustes de configuración opcionales, también puede depositar materiales orgánicos, satisfaciendo las necesidades de investigación de dispositivos emisores de luz y células solares orgánicas. Esto lo convierte en un sistema de recubrimiento de laboratorio de alto rendimiento y rentable.
La base de la cámara cuenta con cinco electrodos refrigerados por agua para mantener la temperatura de los electrodos durante el funcionamiento, evitando así el sobrecalentamiento, la fusión o los daños. La unidad utiliza una cámara de vacío metálica capaz de alcanzar un vacío máximo de 5,0 × 10-7 La platina de muestra se calienta desde temperatura ambiente hasta 500 °C, lo que la convierte en la opción ideal para experimentos de recubrimiento por evaporación al alto vacío.
Características principales
1. Las unidades de control de vacío están todas ensambladas en una caja de control.
2. Adopta un controlador de corriente de recubrimiento de evaporación independiente, que es conveniente y rápido de operar.
3. La cámara de vacío está equipada con una válvula de bombeo lateral KF40 (conectada directamente a la bomba mecánica de la etapa frontal para mejorar la eficiencia), una válvula de compuerta CF150 (conectada directamente a la bomba molecular), una brida KF16 (para instalar el medidor de resistencia), seis bridas CF35 (una es para instalar el medidor de ionización, una es para instalar el electrodo de 2 núcleos y una es para instalar el medidor de espesor de película) y 3 repuestos.
4. Hay 5 electrodos refrigerados por agua en la parte inferior de la cámara, que pueden soportar 4 embarcaciones de calentamiento por evaporación.
5. La platina de muestra se instala en la parte superior de la cámara.
6. Se puede instalar un medidor de espesor de película de alta resolución en la cámara, y la resolución de la medición del espesor de película (aluminio) es de 0,1 Å.
7. Se puede utilizar un enfriador de agua circulante.
Parámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento por evaporación GSL-1800X-ZF4 | |
Modelo de producto | GSL-1800X-ZF4 | |
Condiciones de instalación | Este equipo debe utilizarse a una altitud de 1000 m o menos, una temperatura de 25 °C ± 15 °C y una humedad relativa del 55 % ± 10 %. 1. Agua: El equipo está equipado con un enfriador de agua autocirculante (que se llena con agua pura o agua desionizada). 2. Electricidad: CA 220 V 50 Hz, debe tener una buena conexión a tierra. 3. Banco de trabajo: Tipo suelo, con una superficie superior a 2m2 5. Dispositivo de ventilación: necesario | |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Entrada: monofásica CA 220 V, 50 Hz/60 Hz, potencia <2,16 kW (sin incluir la bomba de vacío) 2. Salida de evaporación: voltaje CA 0-8 V ajustable continuamente, corriente de evaporación límite 200 A, potencia de evaporación límite <1,6 kW 3. Cámara de vacío: Ø300 mm (ID) × 360 mm (H), acero inoxidable, pared interior electropulida 4. Ventana de observación: Ø100 mm, sellada con anillo de sellado especial 5. Bomba de vacío: bomba turbo molecular de alta velocidad de bombeo con una velocidad de bombeo de 600 L/s 6. Grado de vacío: 8,0 × 10-4Bien 7. Límite de vacío: 8,0 × 10-5Bien 8. Tasa de fuga: 6,7 × 10-8Pa·L/s 9. Etapa de muestra: φ120 10. Distancia entre el recipiente de evaporación y la plataforma de muestra: 140-200 mm 11. Agua de refrigeración necesaria: 15 L/min 12. Temperatura de calentamiento de la etapa de muestra: temperatura ambiente ~ 500 ℃, control automático de temperatura y medición de temperatura. | |
Dimensiones y peso del producto | 13. Especificaciones del producto: · Dimensiones: 900 mm × 1100 mm × 1800 mm · Peso: 230 kg |
|
Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
