Monitor de espesor de película EQ-TM106
1. Este instrumento de inspección de recubrimientos de laboratorio es un monitor de espesor de película QCM de alta precisión para MBE, OLED y pulverización catódica. Asegúrese de que el espesor del recubrimiento cumpla con los requisitos experimentales.
2. El equipo también cuenta con control de velocidad en tiempo real, resolución de 0,0136 Å y exportación de datos a PC.
3. El equipo incluye soporte técnico especializado antes y después de la venta. Si se produce algún fallo en el equipo o daño en algún componente, póngase en contacto con nosotros de inmediato; ofrecemos una garantía de un año (que cubre problemas no causados por el usuario).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción al monitor de espesor de la película:
El monitor de espesor de película EQ-TM106 utiliza el principio de oscilación del cristal de cuarzo, combinado con tecnología avanzada de medición de frecuencia, para realizar un monitoreo en tiempo real e in situ del espesor de la película. Se emplea principalmente durante procesos de deposición de películas delgadas, como los que involucran MBE, evaporación térmica OLED y equipos de pulverización catódica por magnetrón, para proporcionar un monitoreo continuo tanto del espesor de la capa de película como de la tasa de deposición.
Basándose en la velocidad de deposición en tiempo real de la película delgada, el monitor EQ-TM106 genera una señal de salida analógica PWM (Modulación por Ancho de Pulso). Al funcionar como un sensor de espesor específico, se integra con controladores externos y fuentes de alimentación de evaporación para permitir el control de velocidad en bucle cerrado de la fuente de evaporación, facilitando así la medición precisa del espesor de la película depositada.
El monitor de espesor de película EQ-TM106 presenta un diseño compacto que ahorra espacio en el laboratorio; además, su sencillo principio de funcionamiento y su interfaz fácil de usar lo hacen especialmente adecuado para su uso en aplicaciones de deposición de películas delgadas a escala de laboratorio.
Especificaciones técnicas del producto:
| Nombre del producto | Monitor de espesor de película EQ-TM106 | ||
| Modelo de producto | EQ-TM106 | ||
| Especificaciones técnicas | Módulo de monitorización EQ-TM106-1 1. Alimentación: CC 5V (±10%), Corriente máxima 400mA 2. Resolución de frecuencia: ±0,03 Hz 3. Resolución del espesor de la película: 0,0136 Å (Aluminio) 4. Precisión del espesor de la película: ±0,5 % (dependiendo de las condiciones del proceso, específicamente la posición del sensor, la tensión del material, la temperatura y la densidad). 5. Velocidad de medición: 100 ms – 1 s por medición (configurable) 6. Rango de medición: 500.000 Å (aluminio) 7. Cristal del sensor estándar: 6 MHz 8. Interfaz de computadora: Interfaz serial RS-232/485 (velocidades de transmisión configurables: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; bits de datos: 8; bits de parada: 1; paridad: ninguna) 9. Salida analógica: resolución de 8 bits, salida PWM (modulación por ancho de pulso) (colector abierto o salida interna de 5 V). 10. Entorno operativo: Temperatura 0–50°C; Humedad 5%–85% HR (sin condensación) 11. Dimensiones: 90 mm × 50 mm × 18 mm | ||
Unidad de visualización EQ-TM106-2 1. Alimentación: CA 220V ±10% 2. Potencia de salida: CC 5V 3A 3. Pantalla: 12 tubos digitales y LEDs de 2 pulgadas. 4. Puerto de comunicación: RS-485 (velocidades de transmisión seleccionables: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; bits de datos: 8; bits de parada: 1; paridad: ninguna) 5. Dimensiones: 182 mm × 65 mm × 160 mm | |||
Sonda EQ-TM106-3 1. Frecuencia de cristal compatible: 6 MHz 2. Tamaño de cristal compatible: Ø14 mm 3. Brida de montaje: CF35 4. Tubos de agua de refrigeración: Ø3 mm; Longitudes: 300 mm, 500 mm, 1000 mm 5. Presión del agua de refrigeración: <0,3 MPa 6. Tubo para obturador neumático: Ø3 mm 7. Presión de aire comprimido: <0,8 MPa, >0,5 MPa 8. Temperatura de horneado: <200 °C (con flujo de agua); Brida <100 °C (sin flujo de agua) 9. Interfaz eléctrica: Conector BNC | |||
| Accesorios estándar | 1 | Módulo de monitorización EQ-TM106-1 | 1 unidad |
| 2 | Unidad de visualización EQ-TM106-2 | 1 unidad | |
| 3 | Sonda EQ-TM106-3 | 1 unidad | |
Características principales del monitor de deposición de película delgada:
1. Esta unidad se puede conectar a un ordenador.
2. La unidad de visualización cuenta con una interfaz limpia, intuitiva y bien organizada, que ofrece un funcionamiento cómodo y rápido. Proporciona una visualización en tiempo real de los parámetros operativos, incluyendo el espesor de la película medida, la tasa de deposición, la frecuencia y el porcentaje de la salida de control PWM.
3. Mediante el software o la unidad de visualización, los usuarios pueden configurar diversos ajustes, como el tiempo de puerta, el modo de salida, el algoritmo de velocidad, los parámetros del material, el rango de salida y los parámetros de comunicación, y exportar los datos medidos relevantes directamente a un archivo de Excel.
4. El dispositivo cuenta con un tamaño compacto, alta precisión de medición, funcionamiento sencillo y facilidad de uso.
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