Sistema de recubrimiento por evaporación multicámara continua
1. Nuestra máquina de recubrimiento al vacío por evaporación permite la inyección continua de muestras, lo que la hace muy adecuada para experimentos o proyectos profesionales.
2. Nuestra máquina de recubrimiento al vacío por evaporación está completamente automatizada, lo que ahorra dinero en costos de personal y capacitación.
3. La máquina de recubrimiento al vacío por evaporación está equipada con cuatro zonas de trabajo, lo que acelera el progreso del proyecto y permite un calentamiento separado.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción de la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación:
La máquina de recubrimiento por evaporación continua GSL-1800X-ZF-AM es un dispositivo profesional de alto vacío para inyección continua de muestras. Esta máquina adopta un diseño multicámara con una cámara de transferencia y una cámara de recubrimiento por evaporación, lo que permite la transferencia continua de muestras y operaciones de recubrimiento automatizadas en un entorno de vacío estable. El soporte del sustrato oscila entre las dos cámaras, logrando un funcionamiento sincronizado totalmente automatizado mediante un motor de frecuencia modulada. La posición y la velocidad de oscilación de la máquina son ajustables, y cuenta con funciones de posicionamiento de doble cámara y restablecimiento del origen, lo que mejora significativamente la eficiencia experimental y la repetibilidad del recubrimiento.
La máquina de recubrimiento por evaporación continua es especialmente adecuada para el recubrimiento por evaporación de materiales metálicos sensibles al oxígeno (como Ti, Al, Au, etc.) y materiales orgánicos de moléculas pequeñas. El sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica está equipado con cuatro naves de calentamiento por evaporación controladas independientemente, cada una capaz de realizar un proceso de evaporación independiente. Una estructura deflectora giratoria sobre cada nave de calentamiento protege eficazmente a las demás naves durante el funcionamiento con una sola nave, evitando la contaminación cruzada del material evaporado y garantizando la pureza de la película.
Al modificar algunas configuraciones, el sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica también permite el recubrimiento por evaporación de diversos materiales orgánicos, lo que lo hace ideal para la investigación de materiales avanzados como dispositivos emisores de luz OLED y sistemas fotovoltaicos orgánicos (OPV). Cinco electrodos refrigerados por agua se ubican en el fondo de la cámara, protegiéndolos continuamente durante la evaporación a alta temperatura para evitar daños por fusión térmica y mejorar la durabilidad y estabilidad del sistema.
El sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica GSL-1800X-ZF-AM emplea una cámara de vacío metálica de alta fiabilidad, que alcanza un vacío máximo de 5,0 × 10⁻⁷ Torr. La platina de muestra puede calentar las muestras (temperatura ambiente: 500 °C), lo que proporciona un entorno térmico estable y controlable para la deposición de películas delgadas de alta calidad. Gracias a su alto rendimiento de vacío, flexibilidad de proceso y excelente rentabilidad, el sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica es la opción ideal para instituciones de investigación y laboratorios que realizan investigaciones sobre recubrimientos por evaporación al alto vacío.
Ventajas de la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación:
· Diseño de múltiples cámaras de máquina de recubrimiento por evaporación continua: compuesto por una cámara de transferencia y una cámara de recubrimiento por evaporación, lo que permite un recubrimiento por evaporación de la muestra rápido y continuo.
· Gestión centralizada del control de vacío: La unidad de vacío está integrada en una caja de control integrada para una fácil operación.
· Control de corriente de evaporación independiente: Facilita el ajuste preciso de la tasa de evaporación.
· La cámara está equipada con una válvula de derivación KF40 (conectada directamente a la bomba frontal para mejorar la eficiencia de bombeo), una válvula de compuerta CF150 (conectada directamente a la bomba molecular), una brida KF16 (para montar un medidor de resistencia) y seis bridas CF35 (una para un medidor de ionización, una para un electrodo de 2 pines, una para un medidor de espesor de película y tres interfaces de repuesto).
· Sistema de enfriamiento por agua de alta eficiencia: cinco electrodos refrigerados por agua están ubicados en la parte inferior de la cámara y soportan simultáneamente cuatro naves de calentamiento por deposición de vapor.
· La etapa de muestra de la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación presenta un diseño de montaje superior para una fácil instalación y operación.
· Medidor de espesor de película de alta resolución opcional: Precisión de medición del espesor de película de aluminio de hasta 0,1 Å.
· La máquina de recubrimiento al vacío por evaporación puede equiparse con un enfriador de agua circulante para garantizar la estabilidad operativa a largo plazo.
Parámetros técnicos de la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación:
| Nombre del producto | Máquina de recubrimiento por evaporación continua GSL-1800X-ZF-AM |
| Modelo de producto | GSL-1800X-ZF-AM |
Requisitos de instalación del sistema de recubrimiento al vacío | 1Este sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica es adecuado para su uso en entornos con una temperatura de 25 °C ± 15 °C y una humedad relativa de 55 % HR ± 10 %. 2. Fuente de agua: El sistema de recubrimiento al vacío por evaporación térmica está equipado con un sistema de agua de enfriamiento de autocirculación, que requiere la adición de agua purificada o desionizada. 3. Fuente de alimentación del sistema de recubrimiento al vacío: CA monofásica 220 V 50 Hz, con conexión a tierra confiable requerida. 4. Banco de trabajo del sistema de recubrimiento al vacío: De pie, se recomienda un área de piso de al menos 2 metros cuadrados, asegurando la colocación estable del equipo. 5. Ventilación: Requiere buenos sistemas de ventilación o escape para garantizar la seguridad operativa y la disipación efectiva del calor. |
| Parámetros del sistema de recubrimiento al vacío | 1. Entrada de energía: CA monofásica 220 V, 50/60 Hz, pPotencia <2,16 kW (excluyendo bomba de vacío). 2. Salida de evaporación: Voltaje CA 0–8 V continuamente ajustable, corriente de evaporación máxima 200 A, potencia de evaporación máxima <1,6 kW. 3. Cámara de vacío: Diámetro interior Ø300mm × Altura 360mm, acero inoxidable, pared interior electropulida. 4. Ventana de observación: Ø100mm, utilizando un anillo de sellado especial para garantizar la hermeticidad. 5. Bomba de vacío: Bomba turbomolecular de alta velocidad, velocidad de bombeo 600L/s. 6. Vacío de trabajo: 8,0×10⁻⁴Pa. 7. Vacío máximo: 8,0×10⁻⁵Pa. 8. Tasa de fuga: 6,7×10⁻⁸Pa·L/s. 9. Platina de muestra: Diámetro φ120mm. 10. Distancia entre el recipiente de evaporación y la etapa de muestra: ajustable 140–200 mm. 11. Requerimiento de agua de enfriamiento: 15L/min. 12. Temperatura de calentamiento de la etapa de muestra: Temperatura ambiente ～500 ℃, admite control automático de temperatura y medición de temperatura. |
| Cumplimiento | La certificación CE, UL o CSA está disponible a un coste adicional. |
Sobre nosotros:
Como empresa enfocada en el mercado de la investigación científica, nuestros clientes provienen principalmente de universidades, instituciones de investigación científica y laboratorios. Nos comprometemos constantemente a servir a la sociedad mediante tecnología innovadora, centrándonos en el cliente y brindando servicios de investigación científica profesionales y eficientes. Nuestro objetivo es convertirnos en una empresa líder en el campo de los instrumentos de investigación científica, confiable, respetada, con influencia y competitividad a nivel internacional.
