Instrumento de pulverización magnetrónica de tres objetivos
1. El equipo de recubrimiento de tres objetivos tiene alta precisión, pequeño error de resultado y mayor tranquilidad durante su uso.
2. El equipo de recubrimiento de tres objetivos es fácil de operar y reduce el tiempo de aprendizaje.
3. El equipo de recubrimiento de tres objetivos es adecuado para una variedad de materiales, reduciendo el consumo de múltiples equipos.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción de equipos de recubrimiento al vacío de tres objetivos:
El equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos VTC-600-3HD-1000 es un equipo de recubrimiento de alto vacío de reciente desarrollo por nuestra empresa. Permite la preparación de películas monocapa o multicapa de materiales ferroeléctricos, conductores, de aleación, semiconductores, cerámicos, dieléctricos, ópticos, de óxido, duros, de politetrafluoroetileno, etc. El equipo VTC-600-3HD-1000 está equipado con tres cañones de objetivos y tres fuentes de alimentación: una fuente de alimentación de radiofrecuencia (RF) para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales no conductores, una fuente de alimentación de corriente continua (CC) para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores y un potente objetivo magnético para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales ferromagnéticos. En comparación con equipos similares, el equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos destaca por su tamaño compacto, su fácil manejo y la amplia gama de materiales que admite. Es el equipo ideal para la preparación de películas de diversos materiales en el laboratorio.
Características principales del recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío:
1. El recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío está equipado con tres cañones de objetivos, dos fuentes de alimentación de RF coincidentes se utilizan para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales de objetivo no conductores y una fuente de alimentación de CC coincidente se utiliza para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores.
2. El recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío puede preparar una variedad de películas delgadas y es ampliamente utilizado.
3. El recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío es de tamaño pequeño y fácil de operar.
Parámetros técnicos del equipo de recubrimiento de tres objetivos:
| Nombre del producto | VTC-600-3HD-1000 Tres objetivosInstrumento de pulverización magnetrónica |
Modelo de producto | VTC-600-3HD-1000 |
| Condiciones de instalación | Este equipo debe funcionar en condiciones de temperatura de 25 ℃ ± 15 ℃ y humedad de 55 % HR ± 10 % HR. 1. Agua: El equipo está equipado con un enfriador de recirculación automática (llenar con agua purificada o desionizada). 2. Alimentación: CA 220 V, 50 Hz, con conexión a tierra adecuada requerida. 3. Gas: La cámara debe llenarse con gas argón (pureza ≥ 99,99%). El usuario deberá preparar un cilindro de argón (con conexión de doble férula de Ø6 mm) y un regulador de presión. 4. Banco de trabajo: Dimensiones 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con una capacidad de carga ≥ 200 kg. 5. Ventilación: Requerida. |
Parámetros principales | 1. Alimentación: 220V/50Hz. 2. Número de objetivos de pulverización: 3. 3. Diámetro interior de la cámara: Ø300 mm. 4. Método de refrigeración del cañón objetivo: refrigeración por agua. 5. Grado de vacío máximo: 7,4E-5pa. 6. Especificaciones de la cámara de vacío: Φ300×330 mm. 7. Sistema de vacío: bomba mecánica VRD-16 bomba turbomolecular FF-100/150. 8. Restablecer el vacío: El sistema se bombea desde la atmósfera hasta 5,0E-3pa≤30 min (el sistema se expone a la atmósfera durante un corto tiempo). 9. Sistema de inflado: medidor de flujo másico bidireccional (1 vía argón 100scc, 1 vía argón 200scc). Se puede personalizar con gas especial. 10. Especificaciones del objetivo de pulverización: Φ2", espesor 0,1-5 mm (el espesor varía debido a los diferentes materiales del objetivo). 11. Etapa de muestra: Φ70mm//calentable (temperatura ambiente ~ 1000℃). |
Especificaciones del producto | Dimensiones del dispositivo: ancho 900 mm × profundidad 650 mm × altura 1100 mm |
Accesorios opcionales
| No. | Nombre | Categoría de función | Imagen |
| 1 | Diversos objetivos (oro, indio, plata, platino, etc.) | Opcional | - |
| 2 | Blanco magnético potente (para pulverización catódica de materiales ferromagnéticos) | Opcional | - |
| 3 | Mascarilla | Opcional | - |
| 4 | Etapa de muestra vibratoria | Opcional | - |
| 5 | Dispositivo de recubrimiento giratorio de doble capa | Opcional |  |
Garantía:
Un año de garantía limitada con soporte de por vida (no incluye piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas).
Logística
Sobre nosotros:
Nuestra empresa lleva muchos años dedicada a la producción cinematográfica y cuenta con una amplia experiencia. Además, disponemos de una gran variedad de equipos aptos para diferentes materiales, que se adaptan a sus diversas necesidades. Podemos ayudarle a probar la eficacia de nuestros equipos. Si nos proporciona muestras, le prepararemos otras para que pueda apreciar mejor el resultado de nuestros productos. Si le convencen, podrá adquirirlos y optimizar así su trabajo.
Desde la consultoría hasta el servicio posventa, ofrecemos un servicio de primera clase a cada cliente. Nuestro equipo profesional le recomendará el equipo adecuado, le brindará soporte técnico durante el uso del producto, responderá a sus preguntas y le ayudará a llevar a cabo su proyecto sin contratiempos. Confiamos en que, gracias a nuestra amplia experiencia, podemos ayudar a más empresas a alcanzar sus objetivos.
