Instrumento de pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos
1. El equipo de recubrimiento de tres objetivos tiene alta precisión, pequeño error de resultado y mayor tranquilidad durante su uso.
2. El equipo de recubrimiento de tres objetivos es fácil de operar y reduce el tiempo de aprendizaje.
3. El equipo de recubrimiento de tres objetivos es adecuado para una variedad de materiales, lo que reduce el consumo de varios equipos.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos:
El equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos VTC-600-3HD-1000 es un equipo de recubrimiento de alto vacío desarrollado recientemente por nuestra empresa. Puede utilizarse para preparar películas ferroeléctricas monocapa o multicapa, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroetileno, etc. El equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos VTC-600-3HD-1000 está equipado con tres pistolas de objetivos y tres fuentes de alimentación: una fuente de alimentación de RF para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales no conductores, una fuente de alimentación de CC para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores y un objetivo magnético potente para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales ferromagnéticos. En comparación con equipos similares, el equipo de recubrimiento al vacío de tres objetivos ofrece las ventajas de su pequeño tamaño y fácil manejo, y admite una amplia gama de materiales. Es un equipo ideal para la preparación de diversas películas de materiales en el laboratorio.
Características principales del recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío:
1. El recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío está equipado con tres pistolas de objetivo, se utilizan dos fuentes de alimentación de RF coincidentes para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales de objetivo no conductores y se utiliza una fuente de alimentación de CC coincidente para el recubrimiento por pulverización catódica de materiales conductores.
2. El recubridor por pulverización catódica de triple objetivo de alto vacío puede preparar una variedad de películas delgadas y es ampliamente utilizado.
3. El recubridor catódico de triple objetivo de alto vacío es de tamaño pequeño y fácil de operar.
Parámetros técnicos del equipo de recubrimiento de tres objetivos:
| Nombre del producto | Instrumento de pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo VTC-600-3HD-1000 |
Modelo de producto | VTC-600-3HD-1000 |
Parámetros principales | 1. Potencia de entrada: 220 V/50 Hz. 2. Número de objetivos de pulverización catódica: 3. 3. Diámetro interior de la cámara: Ø300mm. 4. Método de enfriamiento del arma de tiro: enfriamiento por agua. 5. Grado de vacío máximo: 7,4E-5pa. 6. Especificaciones de la cámara de vacío: Φ300×330 mm. 7. Sistema de vacío: Bomba mecánica VRD-16 Bomba turbomolecular FF-100/150. 8. Restablecer el vacío: el sistema se bombea desde la atmósfera a 5,0E-3pa ≤ 30 min (el sistema se expone a la atmósfera durante un breve período). 9. Sistema de inflado: medidor de flujo másico de 2 vías (1 vía argón 100 scc, 1 vía argón 200 scc) Se puede personalizar un gas especial. 10. Especificaciones del objetivo de pulverización catódica: Φ2", espesor 0,1-5 mm (el espesor varía según los diferentes materiales del objetivo). 11. Etapa de muestra: Φ70 mm // calentable (temperatura ambiente ~ 1000 ℃). |
Especificaciones del producto | Tamaño del host: ancho 900 mm × profundidad 650 mm × altura 1100 mm |
Garantía:
Un año limitado con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas).
Logística
Sobre nosotros:
Nuestra empresa lleva muchos años dedicada al sector cinematográfico y cuenta con una amplia experiencia. Además, disponemos de una variedad de equipos adecuados para diferentes materiales que satisfacen sus diversas necesidades. También podemos ayudarle a probar el rendimiento del equipo. Puede proporcionarnos muestras y las prepararemos para que pueda apreciar el efecto de nuestros productos de forma más intuitiva. Si le convencen nuestros productos, puede comprarlos y realizar su trabajo con mayor fluidez.
