Recubrimiento giratorio de alta velocidad con cubierta calefactora de 100 ºC
El recubridor giratorio al vacío VTC-100PA-I es adecuado para procesos de semiconductores, cristales, discos ópticos, fabricación de placas y recubrimiento de superficies, entre otros. Puede utilizarse para soluciones de recubrimiento con ácidos y álcalis fuertes. El equipo cuenta con dos mandriles de vacío de diferentes tamaños (para el estándar) que se adaptan al tamaño de la muestra. El equipo puede almacenar 12 conjuntos de programas, cada uno con 6 etapas de ejecución.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del producto
El recubridor rotatorio al vacío VTC-100PA-I está diseñado para procesos de recubrimiento de superficies en semiconductores, cristales, discos ópticos y fotolitografía. Es adecuado para preparar recubrimientos con soluciones ácidas o alcalinas fuertes. El sistema incluye de serie dos mandriles de vacío de diferentes tamaños, lo que permite a los usuarios elegir el mandril adecuado según las dimensiones de la muestra.
Durante el funcionamiento, la muestra se fija firmemente a la platina mediante un mandril de vacío. El VTC-100PA-I puede almacenar hasta 12 programas, cada uno de los cuales consta de 6 pasos secuenciales. La velocidad de rotación varía según la etapa, lo que permite que el dispositivo aumente gradualmente hasta alcanzar su velocidad máxima. Esto garantiza la formación uniforme de una película delgada sobre la superficie de la muestra, minimiza el desperdicio de material y mejora la eficiencia.
El VTC-100PA-I se caracteriza por su operación sencilla, fácil limpieza y diseño compacto. Se utiliza ampliamente en laboratorios de universidades e institutos de investigación para procesos de deposición de película delgada.
Características principales
1. La muestra se fija mediante adsorción al vacío, que es fácil de operar.
2. El grado de vacío puede alcanzar -0,08 MPa.
3. Las muestras se pueden centrar fácilmente utilizando la herramienta de posicionamiento para reducir la vibración o los desprendimientos causados por la desalineación.
4. Se pueden utilizar diferentes mandriles según las especificaciones de la muestra, y el reemplazo es conveniente y sencillo.
5. Se adopta un motor de CC sin escobillas de 24 V y tiene las ventajas de alta confiabilidad, fuerte adaptabilidad, reparación y mantenimiento simples, bajo nivel de ruido, pequeña vibración, funcionamiento estable, arranque rápido y estable, funcionamiento estable después de la aceleración, para garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento.
6. La bomba de vacío de barras paralelas sin aceite tiene las ventajas de tamaño pequeño, estructura simple, fácil operación, mantenimiento conveniente y sin contaminación ambiental.
7. La cámara está hecha de material de polipropileno con una vida útil más larga para mejorar las capacidades de resistencia a la corrosión química y excelente resistencia al agrietamiento por tensión, y el cuerpo de la máquina adopta una estructura de aluminio fundido, que es duradera y liviana.
8. El recubrimiento se puede realizar en una atmósfera de gas inerte (como Ar, N2).
9. Sistema operativo inglés
10. Cuenta con la función de protección contra apertura de tapa. Al abrir la tapa superior durante el proceso de recubrimiento o al finalizarlo, la máquina desacelera rápidamente hasta detenerse.
11. La interfaz de control adopta una pantalla táctil más un sistema de control de computadora de placa única, y la pantalla numérica es más intuitiva y confiable.
TParámetros técnicos
Nombre del producto | Recubrimiento giratorio al vacío VTC-100PA-I | |
Modelo de producto | VTC-100PA-I | |
Condiciones de instalación | 1. Temperatura y humedad: 10–85 % HR (a 25 °C, sin condensación); Temperatura de funcionamiento: 0–45 °C. 2. Ambiente: Libre de fuertes fuentes de vibración y gases corrosivos. 3. Agua: Equipado con salida de drenaje. 4. Fuente de alimentación: CA monofásica 220 V 50 Hz, enchufe chino de tres clavijas, 10 A, con conexión a tierra adecuada requerida. 5. Gas: Vacío (presión negativa) con una velocidad de bombeo ≥70 L/min; el sistema también se puede conectar a gases inertes protectores (por ejemplo, Ar, N₂). 6. Banco de trabajo: Tamaño recomendado 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacidad de carga ≥50 kg (se prefiere mesa de hormigón macizo). 7. Ventilación: No se requieren requisitos especiales. | |
Parámetros principales (Especificación) | 1. Interfaz de fuente de alimentación: · Unidad principal: CA 220 V, 50 Hz, 10 A · Calefacción: CA 220 V, 50 Hz, 10 A 2. Consumo total de energía: ≤1150 W (sin bomba de vacío externa) 3. Cámara de recubrimiento (material): polipropileno 4. Portamuestras (mandril de vacío): Mandriles de vacío de PTFE, Ø19 mm y Ø60 mm (uno de cada uno) 5. Modo de operación: Hasta 12 recetas programables; cada receta incluye 6 etapas secuenciales 6. Rango de velocidad de centrifugado: 500–10 000 rpm (efectivas) 7. Velocidad de aceleración/desaceleración: ajustable de 100 rpm a 2000 rpm por etapa 8. Tiempo de recubrimiento: 0–60 segundos por etapa 9. Estabilidad de velocidad: ±1% 10. Sistema de control: Microcontrolador PCB con control de teclado y pantalla LCD LMC 11. Método de calentamiento: Sistema de calentamiento por tubo de fibra de carbono independiente (separado del control de la unidad principal) 12. Rango de temperatura de calentamiento: Temperatura ambiente hasta 100 °C 13. Potencia de calentamiento: CA 220 V, 1000 W 14. Precisión del control de temperatura: ±2 °C | |
15. Especificaciones del producto: · Dimensiones: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Peso: 20 kg |
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SAccesorios estándar
No. | nombre | cantidad | imagen |
1 | Mandril de vacío (incluida junta tórica) (Ø19 mm yØ60mm) | 2 piezas |
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2 | Posicionador/Localizador central (incluye 4 pernos de posicionamiento) | 1 pieza | - |
3 | Inyector/jeringa de epoxi (20 ml) | 1 pieza | |
4 | Soporte de inyector/jeringa | 1 pieza | |
5 | Bomba de vacío sin aceite | 1 pieza |
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6 | Tubo de goma (incluida abrazadera) | 1 pieza | - |
ELAccesorios opcionales
No. | nombre | tipo funcional | imagen |
1 | Mandriles de vacío de otras especificaciones | (opcional) | |
2 | Pipeta (fabricada en China) | (opcional) | |
3 | Pipeta (importada) | (opcional) |
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Garantía
Garantía limitada de un año con soporte de por vida (sin incluir piezas oxidadas debido a condiciones de almacenamiento inadecuadas)
Logística
