Máquina todo en uno para recubrimiento al vacío con caja de guantes para células solares de perovskita

a. Sistema trifásico de cinco cables. Cinco cables: 380 V CA (+/-5 %), 50 Hz, tres cables con corriente, un cable de tierra y un cable neutro. Potencia máxima 8 KW, corriente máxima 32 A.

b. Además, se requiere un cable de conexión a tierra de carcasa independiente.

2. Agua:

Caudal de 15-20 litros/minuto, 15 a 25 grados Celsius, diferencia de presión de entrada y salida de agua de 1 a 2 kg, presión de entrada de agua de 2~3 kg, el diámetro exterior de la entrada y salida de agua del equipo es de 12 mm (se recomienda utilizar una tubería de agua de goma mejor); se recomienda instalar una válvula de bola delante de la entrada de agua del equipo, para que la presión del agua y el flujo de agua se puedan ajustar fácilmente.

3. Gas:

a. Aire comprimido: aire comprimido seco, limpio, sin agua ni aceite, tubo de aire de plástico de 8 mm, presión 5,5-6

kg (0,55-0,6 MPa).

b. Nitrógeno ordinario: nitrógeno seco, utilizado para romper el vacío en la cámara del equipo. Tubo de aire de plástico de 8 mm, presión 1-2 kg (0,1-0,2 MPA).

1. Cámara de acero inoxidable 304 específica para vacío, electropulido interno, el diámetro de la cámara de vacío es de aproximadamente 400 mm de ancho, 400 mm de profundidad y 450 mm de alto, con estructura de puerta delantera y trasera vertical.

2. El riel de la puerta delantera adopta un diseño de riel doble importado, con una apariencia más coordinada y bloqueo manual. La puerta trasera adopta una estructura de bisagra manual, que es fácil de apretar y sellar; el sistema proporciona un revestimiento de acero inoxidable con una estructura de varias piezas para un fácil desmontaje e instalación. Las superficies internas y externas de la cámara de vacío están pulidas. La cámara está equipada con interfaces de equipos como iluminación y medidores de espesor de película;

3. El lado izquierdo de la cámara de vacío está conectado a la válvula principal y a la bomba molecular, y a la interfaz de medición de vacío. La parte superior está equipada con una plataforma de muestra giratoria refrigerada por agua, un deflector de plataforma de muestra y una interfaz de sonda de medidor de espesor de película; la placa inferior está equipada con 2 juegos de electrodos de evaporación de metal, 4 juegos de fuentes orgánicas y 2 puertos de instalación de sonda de medidor de espesor de película;

4. Puertas delantera y trasera con ventanas de observación de vidrio: 1 ventana de observación de 4 pulgadas de diámetro con deflector en la puerta delantera de la cámara de vacío; equipada con vidrio antiincrustante; 2 pequeñas ventanas de observación en la puerta trasera observan la fuente y la muestra respectivamente, equipadas con vidrio antiincrustante.

II. Fuente de evaporación: equipada con una fuente de evaporación metálica y una fuente de evaporación no metálica

III. Sistema de alarma completo: detección y protección de falta de agua y subtensión, detección y protección de secuencia de fases, detección y protección de temperatura, detección y protección del sistema de vacío. Alarma para condiciones anormales como falta de agua, sobrecorriente, sobretensión y rotura de circuitos de bombas y electrodos, e implementación de las medidas de protección correspondientes; sistema de protección de enclavamiento de programa lógico completo.

IV. Método de control:

Control automático manual con pantalla táctil y PLC de Panasonic; se puede ingresar la velocidad y el espesor final, el ajuste PID controla automáticamente la potencia de salida de evaporación. Contenido del control: bomba mecánica, bomba molecular, neumática, válvula electromagnética, manómetro de vacío, etc.; aspiración automática, recubrimiento automático, escape automático, etc.;

Protección de interbloqueo completa (interbloqueo de hardware, interbloqueo de software), en los modos manual y automático, el equipo está bajo protección de interbloqueo completa para garantizar la seguridad del personal y del equipo. Además, el sistema está equipado con un dispositivo de alarma de detección de flujo de agua.

V. Características estructurales: El sistema cuenta con ruedas y patas universales para facilitar su desplazamiento. (Como se muestra en la figura)

NOSOTROS. Detalles:

Delante de la bomba mecánica se instala un tamiz molecular y en la salida de aire se instalan elementos de protección como filtros y compuertas. El recorrido del gas está diseñado para evitar la entrada de polvo. La fuente orgánica se instala de forma independiente en el interior.

Todas las etapas de muestra, los deflectores de fuente y las rotaciones de la etapa de muestra están sellados con fluido magnético para garantizar la estabilidad a largo plazo del sistema.

Relés, bloques de terminales, uniones para tuberías de agua y gas, válvulas solenoides y otros componentes pequeños son todos productos originales de alta calidad.

1. Sistema de vacío:

Utilizando el calibre FF-200/1300 de la bomba molecular lubricada con grasa Zhongke Keyi, velocidad de bombeo: 1300 L/S + sistema de vacío con bomba mecánica Feiyue VRD-16, válvula de charnela neumática de 8 pulgadas, medición de vacío: un manómetro de vacío bajo y uno de vacío alto (rango desde la atmósfera hasta 3E-9torr), conmutación de control automático de medición de vacío bajo y vacío alto. Las lecturas de vacío se ingresan en el PLC para el control del proceso.

Válvula de vacío: Modelo: 2 juegos de válvulas de aleta DN40mm; 1 juego de válvula principal neumática Zhongke Keyi DN200.

Sello de vacío: el sello estático desmontable está sellado con un anillo de caucho fluorado; el sello estático que se desmonta con poca frecuencia está sellado con cobre libre de oxígeno.

2. Límite de vacío:

Mejor que 2,0 × 10-5 Pa. Tasa de fuga: Mejor que 5 × 10－8 Pa*L/S (estándar nacional). Después de apagar durante 12 horas, el grado de vacío es ≤5 Pa.

3. Velocidad de bombeo: Tiempo de bombeo: presión atmosférica ~ 5×10-4Pa menos de 20 min

1. Estructura tipo cajón, con capacidad máxima de muestra de 150*150 mm, equipada con un deflector de sustrato neumático.

2. La distancia entre el sustrato y la fuente de evaporación es ajustable eléctricamente y la distancia máxima del ajuste de elevación eléctrico es de 60 mm.

3. La etapa de muestra es giratoria con función de enfriamiento por agua: la velocidad de rotación de la etapa de muestra se puede ajustar continuamente de 0 a 30 rpm.

1. La máquina de recubrimiento por evaporación por haz de electrones de alto vacío está equipada con 2 juegos de fuentes de evaporación tipo bote. La fuente de metal adopta una estructura de bote de evaporación + electrodo de cobre refrigerado por agua (temperatura máxima de 1500 grados). La máquina de recubrimiento por evaporación por haz de electrones de alto vacío está equipada con una fuente de alimentación de evaporación de 2,4 kW. La fuente de alimentación de la fuente de evaporación tiene dos modos de accionamiento: corriente constante y voltaje constante, que se pueden cambiar. La fuente de alimentación de evaporación se puede controlar mediante software o manualmente. La fuente de alimentación de evaporación también puede ajustar automáticamente la tasa de evaporación a través del medidor de espesor de película pid (control de bucle cerrado). Con pantalla digital.

2. La máquina de recubrimiento por evaporación por haz de electrones de alto vacío está equipada con 4 juegos de hornos de fuente de haz de evaporación orgánica, 4 fuentes de energía de evaporación orgánica, fuentes de evaporación orgánica con función de visualización de temperatura y los hornos de fuente de haz de evaporación orgánica utilizan controladores de temperatura conductivos japoneses. Equipado con 4 juegos de crisoles, temperatura de calentamiento: 0-700 grados Celsius; rango de ángulo ajustable: 0-15 grados,

1. Fuente de alimentación: DC 5 V (±10 %), corriente máxima 400 mA.

2. Resolución de frecuencia: ±0,03 Hz.

3. Resolución del espesor de la película: 0,0136Å (aluminio).

4. Precisión del espesor de la película: ±0,5 %, dependiendo de las condiciones del proceso, especialmente la posición del sensor, la tensión del material, la temperatura y la densidad.

5. Velocidad de medición: 100 ms-1 s/tiempo, ajustable.

6. Rango de medición: 500000Å (aluminio).