Sistema continuo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón multicámara
1. Nuestro nuevo sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón VTC-600GC-AM está impulsado por un motor de frecuencia modulada, lo que ofrece un alto grado de automatización.
2. El sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón, meticulosamente diseñado y controlado por nuestro departamento técnico, mejora enormemente la estabilidad del funcionamiento del equipo y mejora significativamente la experiencia del usuario.
3. El sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón cuenta con una gama más amplia de aplicaciones en comparación con productos similares y su tamaño compacto facilita el almacenamiento.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 días laborables
- 50 juegos
- información
Introducción del sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón:
La máquina de recubrimiento por pulverización catódica VTC-600GC-AM es un equipo de preparación de película delgada de alto rendimiento y nuevo desarrollo, que consta de una cámara de transferencia y una cámara de recubrimiento por pulverización catódica. El soporte del sustrato oscila entre ambas cámaras, impulsado por un motor de frecuencia modulada, lo que permite un funcionamiento sincronizado automático. La posición de la carrera de oscilación y la velocidad de operación se pueden ajustar con precisión. Ambas cámaras de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica cuentan con funciones de calibración de posicionamiento, lo que permite un rápido restablecimiento del origen para garantizar la estabilidad y la repetibilidad del proceso.
La máquina de recubrimiento por pulverización catódica es adecuada para la preparación de varios tipos de películas delgadas, que incluyen: películas delgadas ferroeléctricas, películas delgadas conductoras, películas delgadas de aleación, películas delgadas semiconductoras, películas delgadas cerámicas, películas delgadas dieléctricas, películas delgadas ópticas, películas delgadas de óxido, películas delgadas duras, películas delgadas de PTFE, etc. La máquina de recubrimiento por pulverización catódica puede equiparse con una estructura de múltiples objetivos y puede emparejarse con una fuente de alimentación de RF (para objetivos no conductores) y una fuente de alimentación de CC (para objetivos conductores) para satisfacer las necesidades de recubrimiento por pulverización catódica de diferentes sistemas de materiales, lo que la hace ampliamente aplicable.
En comparación con los equipos tradicionales, la máquina de recubrimiento por pulverización catódica VTC-600GC-AM no solo ofrece una amplia gama de aplicaciones y una gran capacidad de expansión funcional, sino que también se caracteriza por su estructura compacta, un manejo sencillo y un tamaño reducido. Es un sistema ideal para la preparación en laboratorio de materiales de película delgada de alta calidad, especialmente adecuado para campos de investigación de vanguardia como electrolitos de estado sólido, OLED y materiales optoelectrónicos orgánicos/inorgánicos.
El VTC-600GC-AM proporciona a los investigadores una solución de preparación de película delgada profesional y eficiente a través de su rendimiento estable y confiable, efecto de pulverización catódica de alta uniformidad y capacidades de expansión flexibles.
Características principales de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón:
• Estructura de doble cámara: La máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón consta de una cámara de transferencia y una cámara de pulverización catódica, lo que permite una rápida transferencia de muestras y un recubrimiento continuo, mejorando significativamente la eficiencia de preparación de la película.
• Configuración flexible para múltiples objetivos: La máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón puede equiparse con múltiples pistolas de objetivos, admite fuentes de alimentación de RF y CC, y es apta para objetivos conductores y no conductores. Las pistolas de objetivos se pueden intercambiar libremente según los requisitos del proceso.
• Amplia gama de aplicaciones: La máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón puede preparar varios tipos de películas delgadas, incluidos metales, óxidos, cerámicas, dieléctricos y películas ópticas, satisfaciendo las necesidades de investigación de múltiples campos.
• Tamaño compacto y operación simple: La máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón tiene un tamaño pequeño y un diseño razonable, lo que la hace conveniente para el uso en laboratorio.
• Diseño modular: la cámara de transferencia, la cámara de vacío, el conjunto de bomba y la fuente de alimentación se pueden configurar de forma independiente, lo que facilita la expansión y el mantenimiento.
• Configuración de fuente de alimentación opcional: La máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón admite el control de una sola fuente de alimentación de varias pistolas objetivo o el control independiente de varias fuentes de alimentación, lo que cumple con los requisitos de diferentes procesos de preparación de películas.
Parámetros técnicos de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón:
| Nombre del producto | Sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón multicámara continuo VTC-600GC-AM |
| Modelo de producto | VTC-600GC-AM |
| Parámetros principales | 1. Estructura del equipo: Diseño de mesa con apertura frontal y sistema de vacío montado en la parte trasera. 2. Vacío máximo: 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Tasa de fuga: ≤ 0,5 Pa / 1 h. 4. Eficiencia de bombeo: Aproximadamente 5 minutos para bombear desde la presión atmosférica a 5,0 × 10⁻³ Pa. 5. Conjunto de bomba de vacío: Combinación de bomba mecánica + bomba molecular. 6. Parámetros de la etapa de muestra: · Dimensiones: φ140 mm; · Rango de temperatura: Temperatura ambiente ~ 500 ℃ (se puede aumentar a pedido); · Precisión del control de temperatura: ±1 ℃; · Velocidad de rotación: Ajustable 5–20 rpm; · Módulo de polarización opcional para mejorar la calidad de la película. 7. Sistema de entrada: Medidor de caudal másico de doble canal (Ar/N₂). 8. Ángulo de instalación del objetivo: ángulo de 34° entre el objetivo y el eje central de la platina de muestra. 9. Número de objetivos: Configuración estándar: 3 objetivos, separados 120° (se pueden personalizar más objetivos). 10. Método de enfriamiento del objetivo: enfriamiento por agua. 11. Dimensiones del material objetivo: φ2″, espesor 0,1–5 mm (el espesor varía según el tipo de material objetivo). |
| Cumplimiento | La certificación CE, UL o CSA está disponible a un coste adicional. |
Puntos operativos clave del sistema de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón:
1. Tratamiento de la superficie del sustrato: Antes de aplicar el recubrimiento, el sustrato necesita un tratamiento adecuado para garantizar una adhesión uniforme y una buena durabilidad. Los métodos de tratamiento de la superficie pueden incluir limpieza, descontaminación, pulido y grabado.
2. Selección del recubrimiento: Al seleccionar un recubrimiento, se deben considerar sus propiedades fisicoquímicas, solubilidad, viscosidad y contenido de sólidos, y se debe seleccionar un recubrimiento adecuado en función de los requisitos del material.
3. Control del espesor del recubrimiento: El espesor del recubrimiento es uno de los factores importantes que afectan el rendimiento del recubrimiento. Es necesario controlarlo durante el proceso, generalmente controlando la velocidad de raspado del alambrón o la cuchilla dosificadora, el espesor de la película de la máquina de recubrimiento y la viscosidad del recubrimiento.
4. Control de la uniformidad del recubrimiento: La uniformidad del recubrimiento también influye significativamente en su rendimiento. Durante el proceso de recubrimiento, es necesario mantener una distribución uniforme del mismo y asegurar que la superficie esté libre de defectos y burbujas evidentes.
5. Ajustes de los parámetros de la máquina de recubrimiento: Los ajustes de los parámetros de la máquina de recubrimiento también son cruciales. La temperatura, la velocidad, el nivel de vacío y otros parámetros deben ajustarse adecuadamente según los diferentes recubrimientos y tipos de sustrato para garantizar la calidad y el rendimiento del recubrimiento.
6. Operación segura: Se deben tomar precauciones de seguridad al operar la máquina de recubrimiento, especialmente porque algunos materiales son tóxicos. Se recomienda usar gafas protectoras, guantes y respiradores para evitar daños al personal y al medio ambiente.
Acerca de nuestros servicios:
Nos hemos dedicado a la investigación y el diseño de equipos de laboratorio durante muchos años, con tecnología de punta y amplia experiencia. En cuanto a las máquinas de recubrimiento de cama plana, contamos con años de experiencia en I+D, y nuestros equipos ofrecen importantes ventajas en precisión, estabilidad y eficiencia.
